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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>其它分析儀器>其它通用分析> 剝離成形電子束設(shè)備

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剝離成形電子束設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/7/10 13:31:53
  • 訪問次數(shù) 566

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團隊,專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機、等離子清洗機、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實驗室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子

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剝離成形電子束設(shè)備介紹:

對於有些金屬,我們很難使用蝕刻(Etching)方式來完成想要的電路圖案(Circuit Pattern)時,就可以採用 Lift-Off製程來做出想要的金屬圖案。在此過程中,電子束蒸發(fā)於在基板表面上沉積所需的薄膜層於犧牲層與基材上,最終在洗去其犧牲層,以得到其電路圖案。由於SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制蒸發(fā)速度,因此薄膜厚度和均勻度皆小於+/- 3%。

? 針對Lift-Off製程設(shè)計載臺水冷或液態(tài)氮冷卻。

image.png

1.準(zhǔn)備基板。
2.犧牲薄膜層的沉積。
3.對犧牲層進(jìn)行圖案化(例如蝕刻),以形成反向圖案。
4.沉積目標(biāo)材料。
5.洗去犧牲層以及目標(biāo)材料的表面。
6.最終圖案層:
①基材
②犧牲層
③目標(biāo)材料

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剝離成形電子束設(shè)備參數(shù):

應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • Lift-Off製程。


  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸

    和其應(yīng)用。

  • 腔體最高可至650 mm。

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優(yōu)點選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達(dá)

    12寸晶圓。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源(1/2/4/6坩堝)。

  • 自動鍍膜系統(tǒng)。

  • 具有順序操作或共沉積的多個電子束源。

  • 基板具有冷卻(液態(tài)氮溫度低至-70°C)功能。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套

    箱整合在一起。






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