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RTP-DTS-8 全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐
- 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
- 品牌 晟鼎
- 型號(hào) RTP-DTS-8
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/5/13 17:39:09
- 訪問次數(shù) 667
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快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源,通過極快的升溫速率,將材料在極短的時(shí)間內(nèi)從室溫加熱到300℃-1250℃,從而消除材料內(nèi)部的一些缺陷,改善產(chǎn)品性能。
全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐,RTP-DTS-8是一款全自動(dòng)雙腔快速退火設(shè)備,可兼容6-8英寸晶圓Wafer。
全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐產(chǎn)品優(yōu)勢:
全自動(dòng)雙腔設(shè)計(jì),有效提升產(chǎn)能;
溫度可達(dá)1250℃,具有超高溫場均勻性;
具備穩(wěn)定的溫度重現(xiàn)性;
能夠滿足SIC量產(chǎn)化制程需求。
晟鼎是一家集研發(fā)與設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的企業(yè)。致力于提供表面性能處理及檢測整體解決方案。