單片智能清洗系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳正陽工業(yè)清洗設(shè)備有限公司
- 品牌 正陽
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/10/28 15:50:57
- 訪問次數(shù) 100
產(chǎn)品標(biāo)簽
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單片式清洗機(jī)是由幾個(gè)清洗腔體組成,再通過機(jī)械手將每一片晶圓送至各個(gè)腔體中進(jìn)行單獨(dú)的噴淋式清洗,清洗效果較好,避免了交叉污染和前批次污染后批次,具有工藝環(huán)境控制能力與微粒去除能力,有效解決晶圓之間交叉污染的問題???/4/6/8/12/16腔室,單腔室處理速度可達(dá)到35片/小時(shí),根據(jù)客戶需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗,內(nèi)部集成精密的化學(xué)藥液配比裝置和廢液回收裝置。
單片智能清洗機(jī)有以下產(chǎn)品特點(diǎn);