產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,綜合 |
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產(chǎn)品簡介
Z軸采用伺服電機驅動,精密滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋,行程50mm,大尺寸楔形平升結構,作為底軸實現(xiàn)精密定位,電機含斷電抱閘功能。
XY軸均采用雙直線電機驅動,防蠕動交叉滾柱導軌及光柵尺閉環(huán)反饋,行程210×210mm,安裝Z軸上;此外,XY可定制抱閘功能。
AB軸采用力矩電機驅動,精密軸環(huán)導向及光柵尺閉環(huán)反饋,同步軸向和徑向跳動誤差優(yōu)于1μm,安裝到XY軸上,ZXYAB軸依次疊加的方式,終端負載10kg。
需要安裝到大理石基座上使用,如使用光學面包板,建議在Z軸下面安裝大理石基座。
規(guī)格指標
軸系 Axis | 測試項目 Test Items | 單位 Units | 指標 Specification |
Z 軸 | 行程 | mm | 50 |
補償后定位精度 | μm | ±1 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.5 | |
微動步距 | nm | 0.8 | |
工作速度 | mm/s | 5 | |
X 軸 | 行程 | mm | 210 |
補償后定位精度 | μm | ±0.5 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±1.5 | |
平面度 | μm | ±1.5 | |
微動步距 | μm | 0.8 | |
工作速度 | mm/s | 150 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 210 |
補償后定位精度 | μm | ±0.5 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±1.5 | |
平面度 | μm | ±1.5 | |
微動步距 | μm | 0.8 | |
工作速度 | mm/s | 150 | |
A 軸 | 行程 | ° | ±45 |
補償后定位精度 | arc sec | ±5 | |
雙向重復定位精度 | arc sec | ±2 | |
軸向跳動誤差 | μm | 4 | |
徑向跳動誤差 | μm | 4 | |
微動步距 | arc sec | 4 | |
工作速度 | °/s | 30 | |
B 軸 | 行程 | ° | 360 |
補償后定位精度 | arc sec | ±5 | |
雙向重復定位精度 | arc sec | ±2 | |
軸向跳動誤差 | μm | 4 | |
徑向跳動誤差 | μm | 4 | |
微動步距 | arc sec | 4 | |
工作速度 | °/s | 90 | |
ZXYAB | 負載 | kg | 10 |