EVG720 自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
- 公司名稱 岱美儀器技術服務(上海)有限公司
- 品牌 EVG
- 型號 EVG720
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/9 15:30:18
- 訪問次數(shù) 1013
聯(lián)系方式:岱美儀器13917837832 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
EVG720 系統(tǒng)利用 EVG 創(chuàng)新的 SmartNIL 技術和材料專業(yè)知識,實現(xiàn)微米級和納米級結構的大規(guī)模制造。EVG720 系統(tǒng)采用 SmartNIL 技術,能夠在大面積上打印小至 40 nm* 的納米結構,具有較大的吞吐量和較低的擁有成本,非常適合下一代微流控和光子器件(如衍射光學元件 (DOE))的批量生產(chǎn)。
*分辨率取決于工藝和模板
特點
· 具有復制保真度的批量驗證印記技術
· 成熟的SmartNIL技術與多用途聚合物沖壓技術®
· 集成壓印,UV固化脫模,和工作印章制作
· 自動磁帶到磁帶處理加上半自動化的研發(fā)模式
· 可選的頂部對齊
· 可選的迷你環(huán)境
· 開放平臺的所有商業(yè)可用的印記材料
· 從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴展性
· 系統(tǒng)外殼,最佳的過程穩(wěn)定性和可靠性
技術數(shù)據(jù)
晶圓直徑(襯底尺寸):75至150毫米
分辨率:≤ 40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
過程支持:SmartNIL®
曝光源:大功率LED(i-線)> 40mW/cm2
對齊:可選頂部對中
自動分離:支持
迷你環(huán)境和氣候控制:可選
工作印章制作:支持