化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>光學(xué)薄膜測(cè)量設(shè)備> UltraFilm薄膜測(cè)量系統(tǒng)
UltraFilm薄膜測(cè)量系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/26 17:16:59
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薄膜電阻測(cè)量?jī)x系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測(cè)量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測(cè)量技術(shù),是國(guó)內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測(cè)的系統(tǒng)。
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*1:靜態(tài)精度或可稱(chēng)為同點(diǎn)位多次連續(xù)測(cè)量的最大偏差值,數(shù)據(jù)為針對(duì)50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果
*2:多次取放測(cè)量同點(diǎn)位數(shù)據(jù)的最大三倍標(biāo)準(zhǔn)差值,數(shù)據(jù)為針對(duì)50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果