6EZ-SIC拋光機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 15:56:22
- 訪問次數(shù) 2894
聯(lián)系方式：岱美儀器13917837832 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
6EZ晶圓載具設(shè)計(jì)的優(yōu)勢：
·Revasum擁有多年研磨和拋光超硬材料（如SiC）的經(jīng)驗(yàn)
·6EZ SiC拋光機(jī)是市場上僅有的一款專門為拋光SiC基片而設(shè)計(jì)的SiC CMP工具
·競爭對手的拋光機(jī)基本上是為拋光硅集成電路而設(shè)計(jì)的，這有一套非常不同的要求
·6EZ與其競爭對手之間最重要的區(qū)別在于晶圓載具的設(shè)計(jì)
布局和功能：
綜合清潔站
·向晶圓的上表面和下表面分配1或2中清潔化學(xué)品
·高壓噴淋棒（10psi）
晶圓翻轉(zhuǎn)
·濕式機(jī)器人實(shí)現(xiàn)雙面拋光
濕式轉(zhuǎn)運(yùn)站
·DIW和化學(xué)沖洗
三臺200rpm拋光臺，帶拋光臺和拋光墊冷卻（5ºC）
·專用載體、護(hù)墊調(diào)節(jié)劑和護(hù)墊清潔劑
·兩種漿料的流量控制器
·每張桌上的化學(xué)清潔劑（第三種漿料可選）
漿料分配臂
調(diào)節(jié)臂和盤片
優(yōu)化晶圓載體
·基于經(jīng)驗(yàn)證的ViPRR技術(shù)的設(shè)計(jì)
晶圓處理
·全自動C2C晶圓
·邊緣抓握干式機(jī)器人搬運(yùn)
·最多50片晶圓，無需操作員干預(yù)
晶圓載體對照表
| 項(xiàng)目 | 6EZ(板＋萬向節(jié)) | 競爭對手(薄膜) | 影響 |
| 晶圓載體設(shè)計(jì) | 板+萬向節(jié)設(shè)計(jì)(適用于SiC) | 基于膜的設(shè)計(jì)(適用于硅薄膜) | 6EZ從頭開始為SiC設(shè)計(jì) |
| 拋光下壓力 | 更高的"拋光下壓力"(設(shè)計(jì)強(qiáng)勁，無RR力) | 較低的"拋光下壓力"(薄膜較弱，RR力降低拋光力) | MRR |
| 可靠性 | 穩(wěn)健設(shè)計(jì)，可靠性高 | 膜可能會意外失效（破裂） | 正常運(yùn)行時(shí)間，成本（膜成本高） |
| 扣環(huán)設(shè)計(jì) | 扣環(huán)不接觸拋光墊；沒有晶圓溢出 | 扣環(huán)上的下壓力較大(需要保持晶圓) | |
| 下壓力 | 更高的"拋光下壓力"(100%的力用于晶圓) | 較低的"拋光力"(超過RR所用力的一半) | MRR |
| 扣環(huán)磨損 | 襯墊上最小的RR磨損可延長實(shí)用壽命 | 高RR磨損率降低使用壽命 | 正常運(yùn)行時(shí)間，成本 |
| 襯墊磨損 | 延長極板壽命 | RR摩擦縮短襯墊壽命 | 正常運(yùn)行時(shí)間，成本 |
| 襯墊調(diào)節(jié) | 所需的襯墊調(diào)節(jié)時(shí)間更短 | 需要更多的襯墊調(diào)節(jié)時(shí)間 | 正常運(yùn)行時(shí)間，成本 |
| 熱量產(chǎn)生 | 扣環(huán)摩擦不會產(chǎn)生熱量 | 必須清除擋圈摩擦產(chǎn)生的熱量 | 薄膜設(shè)計(jì)具有更高的襯墊過熱風(fēng)險(xiǎn)(工藝風(fēng)險(xiǎn)) |
| 區(qū)域控制 | 晶圓上的2個(gè)區(qū)域，可調(diào)節(jié) | 晶圓上的2個(gè)區(qū)域，可調(diào)節(jié) |
采購中心
化工儀器網(wǎng)