PDMS微流控芯片制備，采用模塑法，需要制備PDMS芯片模具，常見的芯片模具有SU8模具（光刻膠模具），純硅模具，亞克力模具，樹脂模具。也用采用金屬制備模具的，比如鋁材質(zhì)模具。頂旭微控，專業(yè)定制各類微流控芯片模具，實(shí)體工廠，歡迎咨詢。

根據(jù)芯片結(jié)構(gòu)的不同，可以采用不同的方式加工模具，常見模具的描述如下。

SU-8模具

SU-8制備的模具具備以下優(yōu)勢：

1、高分辨率和精度：SU-8是高分辨率的光刻膠，使用光刻工藝，可以制備復(fù)雜且精細(xì)的微通道幾何形狀，從而形成清晰的微流體結(jié)構(gòu)。

2、強(qiáng)韌耐用：SU-8模具具備強(qiáng)韌性和耐久性，能夠經(jīng)受住反復(fù)使用、清洗和處理，不會明顯退化，適合多次澆筑PDMS芯片。

SU-8模具，使用光刻工藝，可以在SU8光刻膠制備的PDMS芯片模具上制造線條寬度大于2微米，并且實(shí)現(xiàn)深寬比在1:1至2:1的結(jié)構(gòu)。此外，借助多層光刻技術(shù)，還可以在SU-8模具上創(chuàng)建不同高度的微流道結(jié)構(gòu)。

PDMS是制作微流控芯片的主要材料，PDMS芯片制作的主要方式為模塑法，模塑法要求有良好的塑性成型模具，以采用機(jī)械加工方式制備的亞克力和金屬模具，在制備大深寬比流道具有很大的優(yōu)勢，強(qiáng)度較硅模具和SU8模具強(qiáng)，可多次反復(fù)重新使用，同時(shí)具有較高性價(jià)比高。

亞克力模具以制備PDMS芯片的簡易性和經(jīng)濟(jì)性而著稱，通過數(shù)控精雕機(jī)可高度精確地制備，其表面具有一定疏水性，有助于PDMS材料的輕松脫模，適用于制備流道寬度大于0.1毫米以上、誤差控制在±20微米左右的微通道結(jié)構(gòu)，是一種在精度要求適中的應(yīng)用中具備成本效益和高效制備的理想選擇。

亞克力模具

1 加工精度：±20um

2 深寬比：可實(shí)現(xiàn)可任意深寬比

3 模具表面粗糙度：Ra＜0.3um

4 轉(zhuǎn)頭尺寸：0.2mm(亞克力），0.3mm(金屬模具）

純硅模具

純硅模具是制備高深寬比微通道的理想選擇，利用硅的干法刻蝕技術(shù)，可以輕松實(shí)現(xiàn)深寬比達(dá)25:1的微通道結(jié)構(gòu)，而且線條寬度可控制在2微米以上，精度誤差僅在±1微米范圍內(nèi)。 然而，硅表面通常具有強(qiáng)烈的親水性，這可能導(dǎo)致PDMS芯片在脫模時(shí)黏附在硅表面，制造過程中的一大挑戰(zhàn)。為解決這個(gè)問題，通常需要對硅表面進(jìn)行疏水修飾，使硅表面變得疏水，確保PDMS芯片能夠輕松從硅模具上脫離，而不受親水性的干擾（具體疏水解決方案可咨詢銷售）

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