專業(yè)的研究級傅立葉變換紅外光譜儀（氧碳分析儀），其創(chuàng)新技術(shù)和智能精巧的設(shè)計(jì)為新一代傅立葉變換紅外光譜儀樹立了標(biāo)準(zhǔn)。

傅立葉紅外技術(shù)可以快速、靈敏、無損地分析硅材料中的碳、氧含量，因此它在硅材料質(zhì)量控制領(lǐng)域被廣泛接收和應(yīng)用。

l 根據(jù)ASTM/SEMI MF1391標(biāo)準(zhǔn)，建立了室溫硅中代位碳原子含量分析方法。

l 根據(jù)ASTM/SEMI MF1188標(biāo)準(zhǔn)，建立了室溫硅中間隙氧含量分析方法。

l 可達(dá)檢出限：＜400ppba

l 建議的樣品特征：厚度0.5-2.5mm（平均約1.5mm），雙面拋光，單晶或多晶型。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  可選的平板電腦觸控操作界面，有助于實(shí)現(xiàn)簡單的工作流程

l  創(chuàng)新型MultiTect檢測器技術(shù)，支持多達(dá)5個室溫檢測器

l  Transit測量通道，滿足中紅外透射快檢需求

l  RockSolid準(zhǔn)直干涉儀，讓您能夠輕松地更換分束器

l  FM技術(shù)，實(shí)現(xiàn) 6000 cm-1 到 80 cm-1中遠(yuǎn)紅外譜區(qū)的一次性測量

l  可實(shí)現(xiàn)近紅外、遠(yuǎn)紅外和紫外/可見光光譜范圍的輕松升級

l  3個輸出與2個輸入光束端口，可通過軟件進(jìn)行選擇。若需要，還可提供第四個輸出端

l  兼容VERTEX譜儀的所有附件外部模塊