FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司
品牌 ThetaMetrisis
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2024/11/9 16:23:41
訪問次數(shù) 820

產(chǎn)品標(biāo)簽

膜厚儀薄膜厚度測繪微米級(jí)

在線交流發(fā)送詢價(jià) 進(jìn)入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司（Dymek Company Ltd ，下面簡稱岱美）成立于1989年，是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的高科技設(shè)備分銷商，主要為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持，并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今，岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國香港，中國大陸（上海、東莞、北京），中國臺(tái)灣，泰國，菲律賓，馬來西亞，越南及新加坡等地區(qū)。

岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品：

晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。

岱美重要合作伙伴包括有：

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...

如有需要，請(qǐng)聯(lián)系我們，了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作，實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo)。

展開

膜厚儀，輪廓儀，EVG鍵合機(jī)，EVG光刻機(jī)，HERZ隔震臺(tái)，Microsense電容式位移傳感器

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

價(jià)格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子,制藥,電氣,綜合

產(chǎn)品簡介：

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模塊化厚度測繪系統(tǒng)集成了光學(xué)、電子和機(jī)械模塊，可兼用于對(duì)無圖形和圖形薄膜（例如微圖形表面、粗糙表面）進(jìn)行精確測量。

將晶圓放置在真空吸盤上（晶圓尺寸直徑≤300mm）并配備反射率標(biāo)準(zhǔn)件。由功能強(qiáng)大的光學(xué)模塊執(zhí)行測量，光斑尺寸小至幾微米。電動(dòng)平臺(tái)提供XY方向 300 毫米的行程，在速度、精度和可重復(fù)性方面具有優(yōu)秀的性能

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 實(shí)時(shí)反射率光譜測量

o 薄膜厚度、光學(xué)特性、非均勻性測量、厚度測繪

o 使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機(jī)進(jìn)行成像

o 測量參數(shù)廣泛統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)

o 半自動(dòng)圖案對(duì)準(zhǔn)功能用于測量周期性圖形區(qū)域

o 不一樣的軟件功能，例如：Click2Move (螢?zāi)稽c(diǎn)擊定位量測點(diǎn))、比例尺

附件：

FR-AutoFocus：100mm 長線性軸，用于自動(dòng)對(duì)焦，具有兩種操作模式：圖像對(duì)焦（對(duì)比度）/ 反射強(qiáng)度
Rotation Module：旋轉(zhuǎn)模塊電動(dòng)平臺(tái)提供高的分辨率和精度
FR-FilterWheel：電動(dòng)濾光輪模塊帶有可容納 12 個(gè)濾光片的插槽由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制: 濾光片尺寸：直徑0.5英寸，最多6個(gè)過濾器（1英寸）
FR-AutoTurret：自動(dòng)轉(zhuǎn)塔由計(jì)算機(jī)控制可容納 4 個(gè)物鏡：鏡頭切換速度約為 1.0-3.0 秒
Lenses：長工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump：低噪音真空泵，2.5L/min，真空度-60kPa.
Chucks：6 英吋光掩模卡盤6 英吋帶參考片區(qū)域，多晶圓卡盤（100-300 毫米和不規(guī)則形狀片），包括參考區(qū)域和暗區(qū)，用于自動(dòng)基準(zhǔn)

規(guī)格：

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