產品型號

VTC-600GD

安裝條件

本設備要求在溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風裝置：需要

主要參數(shù)

1、電源電壓：220V  50Hz
2、總功率：＜3.5KW
3、腔體內徑：Ø300mm
4、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司設備使用可達到?E-5mbar）
5、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）
6、靶槍數(shù)量：4個
7、靶槍冷卻方式：水冷
8、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同）
9、直流濺射功率：500W（可選）
10、射頻濺射功率：300W
11、載樣臺：Ø140mm
12、載樣臺轉速：1rpm-20rpm內可調
13、保護氣體：Ar、N2等惰性氣體
14、進氣氣路：質量流量計控制2路進氣，1個流量為100 SCCM，1個流量為200 SCCM

15、產品規(guī)格：
·尺寸：
主機尺寸：850mm×760mm×660mm，
整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm；
·重量：190kg

1

直流電源控制系統(tǒng)

（可選）套

-

2

射頻電源控制系統(tǒng)

1套

-

3

膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)

1套

-

4

分子泵（德國進口或者國產更大抽速）

1臺

-

5

冷水機

1臺

-

6

聚酯PU管（Ø6mm）

4m

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1

金、銦、銀、鉑等各種靶材

（可選）

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2

可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。

（可選）

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