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ACU20FDH-LH 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京精量科技有限公司
  • 品牌 Accu
  • 型號(hào) ACU20FDH-LH
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/10/31 10:57:55
  • 訪問次數(shù) 689

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      ACCU(中文譯名精量,即北京精量科技有限公司)主要從事高精度壓力、流體介質(zhì)的測(cè)量儀器、儀表、控制器及流量控制系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)。

      ACCU在專業(yè)技術(shù)領(lǐng)域已沉淀10余年。掌握了三大與流體流量相關(guān)的應(yīng)用原理:熱式、差壓、科里奧利(科氏力),并持有多項(xiàng)研發(fā)著作權(quán),是自動(dòng)化控制系統(tǒng)集成商和工業(yè)自動(dòng)化儀表的優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商。公司具有強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)實(shí)力,通過與國內(nèi)高校、研究院所之間的緊密合作,對(duì)國外技術(shù)進(jìn)行引進(jìn)、消化和再創(chuàng)新,使企業(yè)始終保持著與先進(jìn)技術(shù)同步。

      ACCU堅(jiān)持以技術(shù)研發(fā)作為公司發(fā)展的基礎(chǔ),將主動(dòng)性技術(shù)創(chuàng)新與需求性研發(fā)相結(jié)合,為客戶提供氣體、液體、臨界流體的流量及壓力的測(cè)量及控制提供專業(yè)化服務(wù);同時(shí),我們?cè)O(shè)立有專門的研發(fā)定制部門以滿足部分客戶“小批量非標(biāo)工況“等個(gè)性化定制需求。

     ACCU將持續(xù)致力于為用戶提供性能優(yōu)異高效、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品和專業(yè)優(yōu)質(zhì)的服務(wù),把“為客戶解決問題”作為核心競(jìng)爭力。

液體、氣體質(zhì)量流量計(jì);液體、氣體質(zhì)量流量控制器 MFC;科里奧利(科氏)流量計(jì)/流量控制器;單閥/雙閥壓力控制器

氣體滿量程范圍 2SCCM~300SLM 最大工作壓力 3MPa/10MPa
是否帶顯示 帶顯示屏

一、產(chǎn)品概述沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)  

u 可快速精確測(cè)量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對(duì)介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確控制

u 超大可觸顯示屏,操作方便同時(shí)開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊

u 內(nèi)部無可移動(dòng)組件和熱元件,通過抗振動(dòng)測(cè)試,對(duì)安裝方向不敏感

u 采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)

u 提供用戶支持,包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。

二、產(chǎn)品應(yīng)用:

-- 已廣泛應(yīng)用于沉積工藝領(lǐng)域,如陶瓷工藝、半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的沉積設(shè)備。

-- 多變量測(cè)量以及50:1量程可調(diào)比,使得僅用一臺(tái)熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)便可取代多臺(tái)設(shè)備的功效。

-- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間,確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。

三、技術(shù)參數(shù)沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)  


技 術(shù)

指 標(biāo)

質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量計(jì)

量程范圍

2SCCM~300SLM

精度

(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下)

±0.5%F·S(滿量程)

重復(fù)精度

±0.5%F·S

流量控制比

/測(cè)量范圍

2%~100%F·S/501

1%~100%F·S/1001

工作溫度

過流部分:(90~150℃),控制部分:0~70

漏率

2×10-9 Pa m3/S

機(jī) 械

部 件

最大工作壓力

3 MPa / 10MPa

密封材質(zhì)

氟橡膠、全氟醚、金屬密封

防護(hù)等級(jí)

IP40

底座材質(zhì)

不銹鋼

氣路接頭

φ6,φ8,φ10,φ12,卡套、VCR

電 氣

   性 能

單色LCD顯示屏

同時(shí)顯示實(shí)時(shí)流量、設(shè)定流量

數(shù)字通訊

可選:RS232/485,Modbus協(xié)議、Profibus協(xié)議、DeviceNet協(xié)議

模擬輸入輸出信號(hào)

0~5VDC/4~20mA

電信號(hào)接口

B9, RJ11, 5.5×2.1電源快插

供電電壓

±15VDC24VDC
















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