膜厚量測橢偏儀 QUASAR-E100系列
- 公司名稱 北京愛蛙科技有限公司
- 品牌 晶諾微
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/4/2 13:19:44
- 訪問次數(shù) 111
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
膜厚量測橢偏儀 QUASAR-E100系列
橢偏儀 QUASAR-E100是一款桌面式光譜橢偏膜厚儀，它為客戶提供更加準確和更加穩(wěn)定的厚度和折射率測量，廣泛應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體、液晶、太陽能制造等領(lǐng)域，適用于對厚度和折射率測量有更高精度要求的應(yīng)用場景
橢偏儀 QUASAR-E100產(chǎn)品的特點
~各種尺寸樣品測量
可測量如4-12英寸的晶圓及其他各種不規(guī)則形狀樣品
~測量精度和穩(wěn)定性高
相對于反射儀，QUASAR-E100可提供更高精度的測量，且可提供極薄膜的測量
~多參數(shù)測量
可測量材料厚度、折射率和消光系數(shù)
~操作簡單且功能豐富
用戶無需過多培訓(xùn)即可輕松掌握測量流程及建立菜單，數(shù)據(jù)查看、統(tǒng)計和分析功能豐富
橢偏儀 QUASAR-E100產(chǎn)品的參數(shù)
產(chǎn)品型號 | Quasar E100A | Quasar E100P |
厚度測量范圍 | 0~5um | 0~5um |
光源 | 鹵素?zé)簦?span>380-1000nm） | 氙燈（193-1000nm） (option: 193~1700nm) |
入射角 | 65度 | 65度 |
數(shù)據(jù)采集時間 | 0.6-2秒 | 0.6-2秒 |
光斑尺寸 | 1mm~5mm | 25X60um（可做圓形光斑） |
自動運動平臺 | Option | Option |
準確度 | <0.3% | <0.3% |
精度★ (1σ) | 0.05nm | 0.01nm |
★Si基底上對厚度小于30nm的SiO2薄膜樣品連續(xù)測量30次數(shù)據(jù)的標準偏差
橢偏儀 QUASAR-E100定制功能
可根據(jù)客戶需求配置不同的光源，以實現(xiàn)不同性能的測量
可根據(jù)客戶需求搭配自動運動平臺
可根據(jù)客戶需求配置小光斑
橢偏儀 QUASAR-E100樣品實測數(shù)據(jù)
準確性 /精度
Accuracy(A) | |
Thickness（Target） | Quasar E100 |
18 | -0.16 |
111 | -0.58 |
271 | 0.84 |
623 | -0.28 |
1152 | -1.54 |
4506 | 2.30 |
10466 | -1.04 |
Precision(A) 1σ | |
Thickness（Target） | Quasar E100 |
18 | 0.079 |
111 | 0.042 |
271 | 0.053 |
623 | 0.050 |
1152 | 0.040 |
4506 | 0.052 |
10466 | 0.0011% |
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