一種圖形發(fā)生器，用于電子束、離子

束等帶電粒子的曝光機(jī)，屬于曝光機(jī)的圖形

發(fā)生器硬件。本實(shí)用新型提供一種運(yùn)算速度

快、接口簡單、功耗低、功能多樣的曝光機(jī)

用的圖形發(fā)生器，它以高速數(shù)字信號(hào)處理器

為核心，通過通用串行總線接口 和上位機(jī)實(shí)現(xiàn)通訊，該圖形發(fā)生器不僅可以滿足以三角形，矩形和梯形為基本曝光單元圖形的曝光格式，而且 增加了圓及圓環(huán)為具本曝光單元圖形，解決了集成光柵器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本實(shí)用新型由接口電路、雙端口存儲(chǔ)器電路、數(shù)學(xué)信號(hào)處理器電路、數(shù)模轉(zhuǎn)換電路、曝光標(biāo)記檢測控制電路、標(biāo)記檢測電路、最終曝光數(shù)據(jù)寄存器單元和束閘控制電路相互連接構(gòu)。

曝光精度：100納米