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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>電子束曝光機>DY-2000A 納米通用圖形發(fā)生器

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DY-2000A 納米通用圖形發(fā)生器

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京中科復華科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 DY-2000A
  • 產(chǎn)地 北京
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/4/3 9:03:43
  • 訪問次數(shù) 165

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北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領(lǐng)域和微納米科學領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導體設(shè)備儀器和微納米科學儀器,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。   未來公司將不斷和引進在微納米科學領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品,同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)?!?/span>

納米圖形發(fā)生器,離子束刻蝕/反應離子刻蝕/感應耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機、去膠設(shè)備等

一種圖形發(fā)生器,用于電子束、離子

束等帶電粒子的曝光機,屬于曝光機的圖形

發(fā)生器硬件。本實用新型提供一種運算速度

快、接口簡單、功耗低、功能多樣的曝光機

用的圖形發(fā)生器,它以高速數(shù)字信號處理器

為核心,通過通用串行總線接口 和上位機實現(xiàn)通訊,該圖形發(fā)生器不僅可以滿足以三角形,矩形和梯形為基本曝光單元圖形的曝光格式,而且 增加了圓及圓環(huán)為具本曝光單元圖形,解決了集成光柵器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本實用新型由接口電路、雙端口存儲器電路、數(shù)學信號處理器電路、數(shù)模轉(zhuǎn)換電路、曝光標記檢測控制電路、標記檢測電路、最終曝光數(shù)據(jù)寄存器單元和束閘控制電路相互連接構(gòu)。


曝光精度:100納米




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