ZEM20臺(tái)式掃描電子顯微鏡操作簡便，僅需鼠標(biāo)即可完成所有操作，一體式聚光鏡，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光闌。

信號(hào)采集帶寬高達(dá)10M，掃描速度快，視頻模式下實(shí)時(shí)觀察樣品。

豐富的原位拓展功能，可兼容自研原位電鏡附件（拉伸樣品臺(tái)、加熱臺(tái)、TEC冷臺(tái)等）。

ZEM20臺(tái)式掃描電子顯微鏡參數(shù)：

環(huán)境要求：AC 220V，50Hz，1kW，無需減震臺(tái)

加速電壓：3kV~20kV連續(xù)可調(diào)，1kV步進(jìn)

電子槍：預(yù)對(duì)中鎢燈絲，一體式聚光鏡，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)物鏡光闌，可選配LaB6燈絲

放大倍數(shù)： 200 -- 360000倍

探測器：二次電子探測器、四分割背散射電子探測器、集成式能譜儀

樣品臺(tái)行程：

三軸：X: 54mm, Y: 60mm & Z軸電動(dòng)模塊27mm

五軸樣品臺(tái)：X：90mm, Y：50mm, Z：32mm, R：360°,T：-10°-90°

減速模式：標(biāo)配0-10KV樣品臺(tái)高壓減速

超大樣品艙：長185mm*寬176mm *高125mm

樣品尺寸：

兩軸：120mm * 100 mm、高度75mm

五軸：120mm * 100 mm、高度32mm

工作距離：5-80mm

真空模式：

高真空模式：抽真空時(shí)間小于30s

低真空模式：選配，低真空1-100Pa自動(dòng)控制

成像模式：

視頻模式：512x 512像素，無需小窗口掃描；

快速模式：掃描時(shí)間小于3秒，512 x 512像素；

慢掃模式：掃描時(shí)間小于40秒，2048 × 2048像素；

圖像格式：BMP, TIFF,JPEG,PNG

導(dǎo)航功能：光學(xué)CCD導(dǎo)航，艙內(nèi)攝像頭，可實(shí)時(shí)觀察樣品艙內(nèi)情況

整機(jī)尺寸：主機(jī)：長650mm *寬370mm*高642mm; 機(jī)械泵：454mm*165mm*252mm

軟件升級(jí)：自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、大圖拼接

拓展功能：兼容澤攸科技多種原位功能樣品臺(tái)（拉伸臺(tái)、加熱臺(tái)、TEC冷臺(tái)等原位測試系統(tǒng)）。

產(chǎn)品特色：

操作簡便： 僅需鼠標(biāo)即可完成所有操作，一體式聚光鏡，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光闌。

成像快速： 抽真空時(shí)間小于30s，光學(xué)導(dǎo)航&艙內(nèi)攝像頭，支持快速找樣，樣品艙實(shí)時(shí)觀察，軟件支持自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、大圖拼接。

顯示流暢： 信號(hào)采集帶寬高達(dá)10M，掃描速度快，視頻模式下實(shí)時(shí)觀察樣品，無重影、拖影，不錯(cuò)過每一個(gè)細(xì)節(jié)。

信號(hào)多樣： 二次電子探測器、四分割背散射電子探測器、集成式能譜儀等多種探測器。（SE+BSE模式：同時(shí)采集，任意疊加）。

性能突出：加速電壓連續(xù)可調(diào)，標(biāo)配樣品臺(tái)減速功能，選配低真空模式，超大樣品艙，適應(yīng)多種類型樣品和原位測試功能。

體積小巧：無需特裝設(shè)備間和額外減震臺(tái)，常規(guī)市電即插即用。

原位拓展：豐富的原位拓展功能，可兼容自研原位電鏡附件（拉伸樣品臺(tái)、加熱臺(tái)、TEC冷臺(tái)等）。

售后無憂： 國內(nèi)自主研發(fā)，提供完備的高性價(jià)比售后服務(wù)。廠家在北京、上海、安徽、東莞等多個(gè)辦事處提供樣機(jī)demo服務(wù)。

ZEM20 臺(tái)式掃描電子顯微鏡

可拓展原位電鏡附件列表：

SEM芯片加熱臺(tái)，SEM加熱爐，SEM電池臺(tái)，SEM液體電化學(xué)臺(tái)，SEM氣體臺(tái)，SEM拉伸臺(tái)，SEM-TEC冷臺(tái)，SEM液氮冷臺(tái)，SEM電學(xué)探針臺(tái)，SEM通光等掃描電鏡原位測試系統(tǒng)。