化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>MEB-600/800 熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備
MEB-600/800 熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備
- 公司名稱 北京中科復(fù)華科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MEB-600/800
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/4/7 9:50:58
- 訪問次數(shù) 267
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納米圖形發(fā)生器，離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機(jī)、去膠設(shè)備等
應(yīng)用方向：科研與教學(xué)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：多功能，電子槍+熱阻蒸發(fā)，膜厚監(jiān)控
產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）
★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。
★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。
★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱：常規(guī)加熱
★電子槍：E型，帶XY偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝：6穴，17cc
★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測(cè)與終點(diǎn)控制
★清洗功能：可選配離子源清洗
★器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)：通過(guò)復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，一次完成器件的多個(gè)工藝步驟
★檢測(cè)與控制光學(xué)特性功能：可選配光控儀
★操作模式：全自動(dòng)+半自動(dòng)控制
類似產(chǎn)品： 大樣片蒸發(fā)鍍膜（MEB-800）
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