Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)：

l 插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 的 124 毫米端到端長(zhǎng)度相匹配。

l 多功能且準(zhǔn)確。對(duì) 98 多種氣體和 20 種自定義混合物進(jìn)行實(shí)時(shí)控制，精度可達(dá) NIST 可追溯的讀數(shù)的 ±0.5% 或滿(mǎn)量程的 ±0.1%。

l 輕松集成。定制過(guò)程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過(guò)程中。

設(shè)備規(guī)格和定制選項(xiàng)：

快速規(guī)格：

MCE 系列性能（大多數(shù)產(chǎn)品）

l 可用滿(mǎn)量程范圍：0.5 SCCM 至 20 SLPM

l 穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿(mǎn)量程的0.01% – 100%

l 標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，NIST 可追溯：讀數(shù)的 ± 0.6% 或滿(mǎn)量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

l 可選高精度校準(zhǔn)，NIST 可追溯：讀數(shù)的 ±0.5% 或滿(mǎn)量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

l 重復(fù)性：±（讀數(shù)的0.1% + 滿(mǎn)量程的0.02%）

l 典型控制響應(yīng)時(shí)間：快至 30 ms

l 預(yù)熱時(shí)間：<1秒

MCE 系列操作條件

l 兼容氣體：98 種以上預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)

l 工作溫度：–10°C 至 +60°C

l 滿(mǎn)量程工作壓力：160 PSIA

l 最大壓差：75 PSID

l 耐壓：175 PSIA

l 用戶(hù)可選擇的參考條件（默認(rèn)）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器設(shè)備范圍和完整規(guī)格：

器件定制范圍為 0.5 SCCM 滿(mǎn)量程 至20 SLPM 滿(mǎn)量程，可控范圍為滿(mǎn)量程的 0.01% 至 100%。

設(shè)備特點(diǎn)：

每臺(tái)設(shè)備均附帶

l 多變量過(guò)程測(cè)量：同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶(hù)可更改測(cè)量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。

l 氣體選擇性：從我們的氣體列表中預(yù)裝的 98 多種 NIST 可追蹤氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體 。

l Gas Select Composer™：使用我們的Gas Select Composer ™固件定義最多 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物 。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏輕松讀取測(cè)量值，并通過(guò)用戶(hù)友好的集成觸摸板控制配置。

l 用戶(hù)可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)斜坡和限制：可配置的斜坡速率允許根據(jù)需要控制過(guò)程變量的快或慢，并且可配置的設(shè)定點(diǎn)限制可保護(hù)過(guò)程免受無(wú)意的設(shè)定點(diǎn)變化的影響。

l 用戶(hù)可調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無(wú)需重新校準(zhǔn)。

l 閥門(mén)關(guān)閉超控和閥門(mén)打開(kāi)超控：利用警報(bào)快速排氣系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。

購(gòu)買(mǎi)時(shí)要求|自由的

l 可選的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次質(zhì)量流量，以便精確跟蹤一段時(shí)間內(nèi)的總流量，并使用批量控制來(lái)分配精確的體積。

購(gòu)買(mǎi)時(shí)要求|附加費(fèi)用

l 可選的集成電位計(jì)控制：使用集成電位計(jì)，只需旋轉(zhuǎn)旋鈕即可調(diào)整設(shè)定值。

設(shè)備定制選項(xiàng)

構(gòu)建和性能選項(xiàng)

l 通信協(xié)議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

l 顯示屏：?jiǎn)紊虿噬彻猓患苫蛎姘灏惭b

l 過(guò)程連接：壓縮、VCR 或 VCO 接頭

l 接液材質(zhì)：302、303、304、316L、430FR不銹鋼；FKM、氧化鋁陶瓷、黃銅、玻璃、金、熱固化環(huán)氧樹(shù)脂、熱固化硅橡膠、聚酰胺、硅

l 校準(zhǔn)：高精度；自定義校準(zhǔn)點(diǎn)

閥門(mén)選項(xiàng)和 PID 調(diào)節(jié)

您的質(zhì)量流量控制器可以使用以下閥門(mén)選項(xiàng)之一進(jìn)行定制，以確保在您預(yù)期的過(guò)程條件下獲得更佳性能。

l MCE：內(nèi)置小型比例控制閥

定制 PID 閥門(mén)調(diào)節(jié)可確保您的特定過(guò)程條件發(fā)揮最大性能。

可選配件

配件|分開(kāi)售賣(mài)

l 過(guò)程端口配件和過(guò)濾器

l 電源

l 通訊電纜及轉(zhuǎn)換電纜

l BB3 和 BB9 多點(diǎn)接線盒