法國Annealsys真空快速退火爐AS-ONE
- 公司名稱 昱臣半導體技術(shù)（香港）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/4/14 10:51:28
- 訪問次數(shù) 167
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產(chǎn)地：法國AnnealSys；
型號：AS-One100/AS-One150
AS-ONE立式快速退火爐為法國AS公司生產(chǎn)，分為AS-ONE 100, 150, 200三個型號，分別對應(yīng)4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品。
應(yīng)用：
- 快速熱退火 RTA；
- 快速熱氧化 RTO；
- 擴散，接觸退火；
- 化合物半導體退火；
- 氮化，硅化；
- 硒化，硫化；
- 石墨烯沉積，碳納米管生長；
- 晶體化，致密化；
技術(shù)規(guī)格：
規(guī)格 | AS-ONE 100 | AS-ONE 150 |
腔體尺寸 | 130mm直徑 x 25mm | 200mm直徑 x 25mm |
紅外燈數(shù)量/功率 | 12支 / 30KW | 18支 / 34KW |
紅外燈冷卻方式 | 風扇 | 風扇 |
標準溫度范圍 | 室溫 ~ 1250°C | 室溫 ~ 1200°C |
選配高溫版本范圍 | 室溫 ~ 1500°C | 室溫 ~ 1300°C |
升溫速度 | 0.1°C ~ 200°C/s | 0.1°C ~ 150°C/s |
溫度控制 | 快速數(shù)字PID控制器 | 快速數(shù)字PID控制器 |
熱電偶 | K型 | K型 |
高溫計 | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C |
氣體注入 | 石英視窗以下 | 石英視窗以下 |
清洗氣路 | 標準配置 | 標準配置 |
工藝氣路方式/數(shù)量 | MFC / 5路 | MFC / 5路 |
真空獲得系統(tǒng) | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) |
尺寸/重量 | 510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg | 510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg |
參考客戶：
清華大學、北京大學、復(fù)旦大學、華南理工大學、天津中電十八所、南京中電五十五所、GE上海研發(fā)中心、南方科大、深圳大學等。
大尺寸樣品快速退火爐
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；
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