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科研用緊湊型納米壓印儀(CNI)

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納米壓印

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昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導(dǎo)體企業(yè)。

昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應(yīng)測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(jī)(Die Bonder),劃片機(jī)(Scriber),球焊機(jī)/鍥焊機(jī)(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE),ICP刻蝕機(jī),等離子體刻蝕機(jī);

- 致冷機(jī)/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機(jī)

科研用CNI v4.0是一種非常靈活的納米壓印機(jī)。它可提供加熱型納米壓印、UV紫外納米壓印以及真空納米壓印。模塊化系統(tǒng)可根據(jù)特定需求輕松配置,體積小,容易存放,可處理210mm(8英寸)圓形的任何尺寸印章和基材。該系統(tǒng)是手動(dòng)裝卸印章和模板,但所有處理器都是全自動(dòng)的,專用軟件用戶可以控制壓印過程。

納米壓印機(jī)特色:

體積小巧,容易存放,桌面型;

輕微復(fù)制微米和納米級結(jié)構(gòu);

熱壓印溫度高達(dá)200;

可選的高溫模塊,適用于250;

UV納米壓印,365nm曝光;

可選的UV模塊,適用于405nm曝光;

真空納米壓?。ㄇ皇铱沙檎婵罩?/span>0.1mbar);

納米壓印壓力高達(dá)11bar;

溫度分布均勻、讀數(shù)精準(zhǔn);

筆記本電腦全自動(dòng)控制,工藝配方編輯簡單,靈活控制,自動(dòng)記錄數(shù)據(jù);

直徑210mm(圓形)腔室;

腔室高度為20mm;

即插即用

使用簡單直觀

專為研發(fā)而設(shè)計(jì)

提供安裝和操作教程視頻






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