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美國Lakeshore 低溫探針臺8-12寸

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低溫探針臺探針臺

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昱臣半導體技術(香港)有限公司是專業(yè)的半導體及微電子領域儀器設備供應商,昱臣半導體技術(香港)有限公司所代理的儀器設備廣泛用于高校、研究所、半導體企業(yè)。

昱臣半導體技術(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(Die Bonder),劃片機(Scriber),球焊機/鍥焊機(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強原子層沉積設備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應離子刻蝕機(RIE),ICP刻蝕機,等離子體刻蝕機;

- 致冷機/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機

CPX低溫探針臺采用模塊化設計以滿足廣泛實驗的需求,是Lake Shore功能最多的高性能低溫探針臺。CPX多樣的選件和配置可使研究者完成精確的、富有挑戰(zhàn)性的測量。CPX具有多個防輻射屏蔽層,以實現(xiàn)優(yōu)異的低溫性能,其低溫選件可使樣品溫度低至1.6 K。探針臺內(nèi)多個溫度計的安裝可確保準確和重復的測量。

 

由于采用了分流設計,樣品可在防輻射屏冷卻時保持溫度,與高真空選件,限度地減少了冷卻過程中的樣品冷凝,這是測量親水性有機材料的關鍵要求。理想的應用包括有機物研究和微波測量。真空Load Lock可配置用于高通量測量。此外,CPX可以被配置為能夠在真空下將受控的樣品輸送到腔室。CPX可容納直徑為51 mm(2英寸)的晶圓(最多102 mm[4英寸]可選)。該系統(tǒng)使用液氦或液氮運行。


主要特征:

 

√  溫度范圍4.3 K~475 K

√  可選低溫1.9 K/1.6 K

√  標準2英寸(51 mm)樣品,4英寸(102 mm)可定制

√  樣品可面內(nèi)±5°旋轉

√  樣品振動<30 nm可選

√  超高真空選件

√  可定制真空腔聯(lián)用轉移樣品,避免樣品暴露在大氣環(huán)境

√  環(huán)形磁體選件0.19T


設備參數(shù):


溫度范圍
最多安裝6個探針臂基礎溫度4.3 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K
安裝PS-LT低溫選件基礎溫度1.9 K,控制范圍2 K ~ 475 K
安裝PS-VLT-CPX極低溫選件基礎溫度1.6 K,控制范圍1.65 K ~ 400 K
安裝PS-LL-CPX選件(Load Lock)基礎溫度10 K,控制范圍10 K ~ 400 K
溫度穩(wěn)定性液氦液氮
基礎溫度 (無加熱控制)±15 mK±20 mK
<10 K±50 mK
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
真空以TPS-FRG分子泵組為標準PS-HV-CPX高真空選件
抽真空時間30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)
室溫<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr
基礎溫度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
溫度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
循環(huán)時間
總循環(huán)3 h
抽真空0.5 h
探針臺冷卻1.25 h
探針臺升溫2 h
Load Lock樣品更換時間1小時(配有PS-LL-CPX選件)
樣品
尺寸51 mm(2英寸)標準
25.4 mm(1英寸)安裝PS-VLT-CPX高真空選件
25.4 mm(1英寸)安裝PS-LL-CPX  Load Lock選件
樣品背光接口不可選
樣品旋轉±5°面內(nèi)旋轉
樣品振動<300 nm標準,<30 nm配有PS-PVIS減震選件
探針配置
探針數(shù)6
探針臂溫度計用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架<20 K(樣品在基礎溫度下)
探針支架連接樣品臺或4K防輻射屏熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為 25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針






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