日本alnair-labs硅片厚度測(cè)量?jī)x光學(xué)檢查儀 Alnair Labs SIT-200 特點(diǎn)介紹

1、機(jī)械損耗低、機(jī)械滯后低

2.可制造長(zhǎng)行程產(chǎn)品。

3、維護(hù)方便

4、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不存在常規(guī)產(chǎn)品因卡膠而發(fā)生故障的現(xiàn)象。

　　 氣缸滑動(dòng)部位通過小泄漏氣膜進(jìn)行潤(rùn)滑，滑動(dòng)阻力低，磨損極小。

5. 微壓操作

6、壽命長(zhǎng)

7、操作油缸部分采用CFRP（增強(qiáng)碳纖維管）制成，重量輕。

8. 抗不平衡負(fù)載能力

9. 氣缸桿可承受高負(fù)載（直線導(dǎo)軌）

10. 活塞部分使用滾珠襯套與線性導(dǎo)軌集成在一起

日本alnair-labs硅片厚度測(cè)量?jī)x光學(xué)檢查儀 Alnair Labs SIT-200 規(guī)格參數(shù)

測(cè)定対象物

シリコン基板

厚み測(cè)定範(fàn)囲

10~500 (n=3.5のとき)

μm

測(cè)定光源

波長(zhǎng)可變光源(1515~1585)

nm

光出力バフ一

0.6、クラス1

mW

ガイド用光源

赤色LD、 クラス1M

計(jì)測(cè)時(shí)間

最小20

ms

測(cè)定再現(xiàn)性

0.1以下 (3σにおいて)

μm

モ二タ出力

干涉出力信號(hào)

PO インタ一フエ一ス

Ethernet

電源電莊

AC 100-240(50/60 Hz)V

外観寸法(WxHxD)

364x 147x391mm

重量

9kg

工作溫度和濕度 20℃～25℃ 50%RH以下

可制造型號(hào) 懸臂式單作用，帶雙滾珠襯套

最小驅(qū)動(dòng)壓力 200pa（低摩擦規(guī)格） φ40用

漏氣量 90L/min以下（0.4Mpa時(shí)） φ40×200ST用（低摩擦規(guī)格）

滯后現(xiàn)象 平均0.6N φ40×200ST

位置負(fù)載能力 φ40×200ST 3430N（最大動(dòng)載荷）