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化工儀器網(wǎng)>產品展廳>化工機械設備>真空設備>真空應用設備>RTP100 淘淘西直銷!日本UNITEMP/尤尼真空工藝快速加熱爐RTP-100

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RTP100 淘淘西直銷!日本UNITEMP/尤尼真空工藝快速加熱爐RTP-100

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池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿易的企業(yè)。公司經過多年的發(fā)展,已整

合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務。池田屋主要經營日本

科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產品。

公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術團隊、資深的管理團隊,通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領域的專業(yè)水平和成熟

技術,服務于電子消費類、半導體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。

“捕捉變化,開拓未來"

~通過科學技術的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻~

我們以“教育科學設備領域"和“研究科學設備領域"為支柱,在本公司,全體員工以“了解變化,開拓未來"的挑戰(zhàn)精神和

“用人、育人"的企業(yè)文化為基礎,以池田屋有的方式響應客戶的需求。



日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產品。

應用領域 環(huán)保,生物產業(yè),能源,電子,綜合

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Φ4英寸兼容觸摸屏式前裝式

真空工藝快速加熱爐RTP-100

RTP-100前裝式真空工藝高速退火爐

RTP-100 前裝式

真空工藝快速退火爐

設備尺寸:505 x 505 x 570 mm (WxDxH)

設備重量:約 55 kg


非常適合原型開發(fā)。

加熱區(qū)域的頂部和底部配備IR(紅外線)型加熱器,最高溫度可達1200℃,并可高速升溫150K/秒。采用氮氣吹掃方式的冷卻方式,降溫速度高達190K/min。(1200至400℃,此后25K/min。)

觸摸屏用于輪廓程序控制。

除了創(chuàng)建溫度控制、氣體流量 (MFC)、真空控制等配置文件程序外,您還可以保存過程數(shù)據(jù)。

它可以加熱最大100x100mm或Φ100mm的物體。


盡管桌面尺寸可實現(xiàn)最高溫度1200℃的真空工藝快速加熱爐。

兼容氮氣吹掃、氧氣吹掃、合成氣(氫氣+氮氣)吹掃等。

由于工作區(qū)域是氣體保護的,因此可用于存在污染問題的工藝或其他關鍵工藝。

加熱由頂部和底部的 24 個 IR(紅外線)加熱器進行,可實現(xiàn)準確、快速的加熱。

與適當?shù)恼婵毡媒Y合,可實現(xiàn)高達0.1 Pa (10 -3 hPa)的真空環(huán)境。

兼容氮氣吹掃法的溫度下降

標準配備觸摸屏顯示器。通過觸摸操作輕松操作

主機上最多可注冊50個50段(行)的溫度控制程序。


兼容高速加熱/冷卻

配備高速紅外線 (IR) 加熱器,最高可升溫至每分鐘 9000°C 或更高(每秒 150°C 或更高)。當然,也可以以輪廓程序的任何速率升高溫度。另外,在降溫過程中,通過向腔室中供應冷卻氮氣,可以安全地進行冷卻,而不會損壞處理后的器件表面。

兼容各種氣體吹掃環(huán)境

最多可以安裝4個MFC(質量流量控制器)系統(tǒng),因此除了真空或大氣環(huán)境之外,還可以在任何工藝氣體吹掃環(huán)境中進行退火。不僅可以在配置文件程序中注冊各種氣體系統(tǒng)的開/關控制,還可以注冊其流量,從而可以輕松再現(xiàn)各種環(huán)境。

簡單的溫度曲線設置

標配7英寸觸摸屏。任何控制配置文件程序都可以在觸摸面板上創(chuàng)建和保存,無需單獨的外部 PC。最多可注冊并執(zhí)行 50 個 50 個步驟的溫度控制程序。此外,標準配置還包括將實驗數(shù)據(jù)保存到 USB 存儲器的功能。通過 USB 存儲器也可以輕松地將實驗數(shù)據(jù)移動到任何 PC。

正面裝載方式

腔室的開啟和關閉采用手動前裝方式。將晶圓放在托盤上后,向后滑動托盤并將控制桿移至鎖定位置。

  

查看具體信息

前裝式真空工藝快速加熱爐(RTP 型)專為尋求緊湊、價格實惠的設備的客戶而設計。除了多功能晶圓表面處理之外,該設備還可以靈活支持漿料燒結和有機成膜等多種應用。


有效加熱面積為100x100x18mm,但通過使用可選的適配器,它可以支持Φ50mm和Φ75mm的晶圓。


標準配備1條質量流量控制器(MFC)氣體管線,可通過程序(物體)自由設定氣體流量并使用。總共可以添加4個氣體模塊,并且還可以使用質量流量控制器來控制氣體流量。


腔室外殼可承受高達0.1Pa(10-3mbar)的真空度,因此通過適當選擇要連接的真空泵,它也可以在高真空環(huán)境中使用。此外,該設備最重要的一點是它可以使用 IR(紅外)加熱器處理高達 70K/秒的高溫升溫速率。


配置文件程序由新型觸摸屏控制器精確控制。您可以在觸摸屏控制器(SPS控制器)上注冊最多50個最多50段(線)的程序,因此您可以通過簡單的操作調用并執(zhí)行所需的加工程序。除了創(chuàng)建程序外,您還可以將執(zhí)行過程的各種數(shù)據(jù)保存為 CSV 格式,因此您只需主機即可完成所有操作,而無需依賴外部 PC。





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