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Nikon S207D 掃描式光刻機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品概述:

Nikon S207D 掃描式光刻機(jī)是一款專為半導(dǎo)體制造設(shè)計(jì)的高性能設(shè)備,支持 200mm 晶圓的生產(chǎn)。該機(jī)型采用先進(jìn)的掃描光刻技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和高精度的圖案轉(zhuǎn)移,適用于集成電路、微處理器和存儲(chǔ)器等電子元件的制造。憑借其快速的曝光速度和穩(wěn)定的性能,S207D 非常適合大批量生產(chǎn),同時(shí)用戶友好的操作界面和自動(dòng)化功能使得操作簡單高效。這些特點(diǎn)使得 Nikon S207D 成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過程中的重要工具,滿足行業(yè)對(duì)高質(zhì)量和高效率的需求。

二、設(shè)備用途/原理:

該設(shè)備通過高強(qiáng)度光源將掩模上的圖案投影到涂有光刻膠的晶圓表面。工作過程中,光源發(fā)出特定波長的光線,通過高分辨率光學(xué)系統(tǒng),精準(zhǔn)地掃描掩模并將圖案投影到晶圓上。曝光后,光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,接著進(jìn)行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠,形成所需的圖案。隨后,利用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上,最后去除殘留的光刻膠。通過這一系列步驟,Nikon S207D 能夠高效地實(shí)現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移,滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)需求。

三、主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率

0.11µm

N.A.

0.82

曝光光源

248nm

倍率

4:1

大曝光現(xiàn)場

26mm*33mm

對(duì)準(zhǔn)精度

20nm

四、設(shè)備特點(diǎn)

Nikon S207D掃描式光刻機(jī)

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.11µm

主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED







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