特征

1.晶圓尺寸50～150/200（mm）（其他可根據(jù)要求提供）

2.真空吸盤旋轉(zhuǎn)90度。

3.X/Y軸直線滑動平臺。（其他可根據(jù)要求提供）

X軸的最大長度為150mm，分辨率為5um，其被顯示在屏幕上。

Y軸的最大劃線長度為150mm。

Z軸最大調(diào)整長度為10mm，分辨率為10um。

4.夾頭的角度可以稍微調(diào)整一下。

調(diào)整角度為0.006~4度

5.劃線壓力可調(diào)

下行壓力約為5~600g（其他可根據(jù)要求提供）

6.金剛石刀具自動下降

7.觸地跌落升降機設(shè)計

8.角度金剛石工具可略微調(diào)整

調(diào)整角度為45度

具有精準(zhǔn)的控制系統(tǒng)，可以精確地調(diào)整劃片刀片的速度和位置，確保切割過程準(zhǔn)確無誤。劃片過程需要在嚴(yán)格的潔凈室環(huán)境中進行，以避免任何雜質(zhì)對芯片質(zhì)量的影響。