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ZDM系列真空鍍膜機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海喆圖科學儀器有限公司
  • 品牌 GEMTOP/喆圖
  • 型號
  • 產地 上海市奉賢區(qū)
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/3/5 11:19:45
  • 訪問次數 1064

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


       上海喆圖科學儀器有限公司是一家具有自主知識產權的高新技術企業(yè),公司自成立以來專業(yè)致力于科學儀器的研發(fā)生產,并先后取得多項國家專*。公司一貫遵循:“靠質量和誠信贏得客戶,追求企業(yè)價值與客戶價值共同成長”的經營理念和 “做好產品質量是最大的積德行善”的質量理念。

公司主要產品有培養(yǎng)箱、干燥箱、馬弗爐、試驗箱等科研設備,產品已遍布美國、俄羅斯、印度、泰國、印度尼西亞、馬來西亞、巴基斯坦、迪拜、瑞典、墨西哥等全球多個國家或地區(qū)。目前已與眾多知*企業(yè)、高等院校及科研、事業(yè)單位精密合作,如中科院、清華大學、博世、華為、邁瑞醫(yī)療、中糧集團、中石油、疾控中心、海爾、國藥、康希諾、雙匯、衛(wèi)龍等,并贏得了諸多用戶的信任和業(yè)界相傳的口碑。

公司產品已涵蓋以下行業(yè):

   (1)企業(yè)機構:制藥行業(yè)、生物制品行業(yè)、食品行業(yè)、化工行業(yè)、農業(yè)行業(yè)、石油行業(yè)、環(huán)保行業(yè)等;不傾國,不傾城,喆圖人愿傾其所有為您提供最*的產品和服務!

   (2) 事業(yè)單位:質檢、商檢、藥檢、疾控中心、出入境、血站、環(huán)保、畜牧、公安、博物館等;

   (3)教育醫(yī)療:高校、科研單位、醫(yī)院醫(yī)療行業(yè)等。

     公司已率*通過IS09001國際質量管理體系認證,我們積極響應中國“質造”的口號,喆圖工程師們以“鑄造民族品牌,傳承工匠精神”為目標,不斷雕琢自己的產品,不斷改善產品的工藝,享受著產品在雙手中升華的過程。

    公司堅持服務至上、品質至上的原則。公司將為所有客戶建立維護檔案,與客戶簽訂售后服務承諾書,設立專門的售后服務部門,推行快速響應機制,確保在第一時間解決客戶的后顧之憂。

     面對新時代的歷史使命,喆圖人勇于擔當企業(yè)和社會的發(fā)展責任,緊跟國家發(fā)展戰(zhàn)略,以科技夢助推中國夢,以創(chuàng)造更大的經濟、社會、人文價值為己任,努力將喆圖品牌向民族品牌邁進。我們是一個有激情和夢想的團隊,不傾城,不傾國,喆圖人愿傾其所有為客戶提供最*的產品和服務!


喆圖品牌釋義:

     喆:【前漢·敘傳】圣喆之治,意為明智,有智慧。圖從字形上理解是一個非常吉利的字,左右結構兩個“吉”組合而成,寓意大吉大利,我公司據此將“喆”引申表達為一個愿望、思想。

     圖:【尚書·太甲上】慎乃儉德,惟懷永圖;視履考祥,其旋元吉。意為要重視節(jié)儉之德,懷有長遠的謀劃。天高地遠,人生其中,艱難叢生,困苦迭出,無可回避。處此艱難旅途的君子,應該以內心的和悅柔順,去應付外界的剛健強勁。剛柔相濟,內外相應,天人和諧。如此,方能逢兇化吉,順暢無憂。公司的“圖”取自大展宏圖,勵精圖治,有寄寓公司產品精益求精之意,表示一種抱負、前程。

     “喆圖”品牌可用“愿望、前程、奮斗”三個詞語表達,喆圖人愿充分利用聰明智慧,做事精益求精。以達成喆圖愿景的美好愿望而謀劃,創(chuàng)造更大的經濟、社會、人文價值,為追求喆圖宗旨來做為抱負而奮斗,使得員工幸福、客戶滿意、成人成己、利國利民。














生化培養(yǎng)箱/人工氣候培養(yǎng)箱/電熱恒溫培養(yǎng)箱/恒溫恒濕箱/光照培養(yǎng)箱/二氧化碳培養(yǎng)箱等/恒溫干燥箱/真空干燥箱/高溫烘箱等/箱式電阻爐/陶瓷纖維馬弗爐/高溫馬弗爐/管式爐/氣氛爐/試驗箱/搖床/振蕩器/水槽/水浴鍋等

產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
應用領域 綜合

用途概述

ZDM系列真空鍍膜機化學名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機又稱HMDS基片預處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行,沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料,為基片在涂膠前改善表面活性,增加光刻膠與基底的粘附力的設備,也可用于晶片其它工藝的清洗,尤其在芯片研發(fā)和生產領域應用更加普及。

產品特點

ZDM系列真空鍍膜機

v 采用PLC工控自動化系統(tǒng),人機界面采用觸摸屏,可靠性高,操作智能方便;

v PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫、任意定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準確可靠;

v 智能化觸摸屏控制系統(tǒng),可根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間;

v 采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內密封性好;

v 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質,內膽不銹鋼,無易燃易爆裝置,無發(fā)塵材料;

v 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液態(tài)涂布均勻,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液。

v 去水烘烤和增粘(疏水)處理一機完成無需轉移,有效規(guī)避HMDS泄露的風險;

v HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,使真空箱密封性好,確保HMDS氣體不外漏;

v 多余的HMDS蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,確保安全以及環(huán)保。

HMDS預處理系統(tǒng)的必要性

HMDS涂到晶片表面后,經真空鍍膜機加溫后可反應生成以硅氧烷為主體的化合物,

它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,起著耦合作用,可更好與光刻膠結合,保證涂膠工藝不影

響光刻效果和顯影。

HMDS本身是表面改性,不會涂在圓片表面,HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果。

HMDS處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時內完成涂膠。

HMDS真空鍍膜機預處理程序

HMDS(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,真空鍍膜機預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真空度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到一定低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入通過氮氣的HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。

充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。

技術參數

型號

ZDM-90V

ZDM-125V

ZDM-215V

電源電壓

AC 220V 50Hz

控制系統(tǒng)

PLC智能控制

儀表控制

彩色觸摸屏

控溫范圍

RT+10-200℃

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動度

±0.1

真空度

≤133pa

內膽尺寸

450*450*450

500*550*500

550*550*650

容積

90L

125L

210L

載物托架

2

3


3





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