1. 產(chǎn)品概述

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐，適用于 6、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

2. 設(shè)備用途/原理

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐，適用于 6、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長，4 組加熱器獨(dú)立控制，靈活的溫場調(diào)節(jié)機(jī)能力。坩堝系統(tǒng)具備升降、旋轉(zhuǎn)功能，溫場更均勻，下裝載，上維護(hù)，操作便捷。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶體尺寸 6、8 英寸，加熱方式 電阻加熱，適用材料 碳化硅，適用工藝 物理氣相輸運(yùn)法（PVT 法），適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導(dǎo)體材料之一，具有禁帶寬度大、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率、高擊穿電場等特性，在智能電網(wǎng)、電力牽引、電動(dòng)汽車、微波射頻等領(lǐng)域具有優(yōu)勢。