TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機維修

半導體專用溫控裝置（Semiconductor Chiller）主要用于半導體制造過程中精確控制反應室的溫度。 它是一種自平衡循環(huán)裝置，主要由換熱器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)組成。 屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。

TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機維修

半導體專用溫控設備利用制冷循環(huán)與工藝冷卻水的熱交換原理，高精度控制半導體工藝設備所用循環(huán)液的溫度、流量和壓力，以達到半導體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設備。根據(jù)不同工藝的要求，控制給定溫度的循環(huán)液流過半導體工藝設備反應室內(nèi)的電極或壁，將熱量帶入半導體專用溫控設備，從而傳遞熱量通過熱交換器進行制冷。制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現(xiàn)工藝過程的溫度控制。

2023年半導體專用溫控裝置市場規(guī)模約46.9億元，2019-2023年年復合增長率CAGR約為 %，預計未來將持續(xù)保持平穩(wěn)增長的態(tài)勢，到2030年市場規(guī)模將接近70.2億元，未來六年CAGR為6.0%。

半導體專用溫控設備利用制冷循環(huán)與工藝冷卻水的熱交換原理，高精度控制半導體工藝設備所用循環(huán)液的溫度、流量和壓力，以達到半導體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設備。根據(jù)不同工藝的要求，控制給定溫度的循環(huán)液流過半導體工藝設備反應室內(nèi)的電極或壁，將熱量帶入半導體專用溫控設備，從而傳遞熱量通過熱交換器進行制冷。制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現(xiàn)工藝過程的溫度控制。

可維修D240 ，AQA-K09，P-12XL探針臺冰水機

半導體專用溫控設備利用制冷循環(huán)與工藝冷卻水的熱交換原理，高精度控制半導體工藝設備所用循環(huán)液的溫度、流量和壓力，以達到半導體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設備。根據(jù)不同工藝的要求，控制給定溫度的循環(huán)液流過半導體工藝設備反應室內(nèi)的電極或壁，將熱量帶入半導體專用溫控設備，從而傳遞熱量通過熱交換器進行制冷。制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現(xiàn)工藝過程的溫度控制。