化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>干法工藝設(shè)備>干法清洗設(shè)備>60升 干法清洗設(shè)備等離子清洗活化設(shè)備
60升 干法清洗設(shè)備等離子清洗活化設(shè)備
| 參考價(jià) | ￥ 30000 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 北京信利泰科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) 60升
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/7/22 10:54:13
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 97
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等離子活化儀，等離子清洗機(jī)，等離子刻蝕機(jī)，光刻機(jī)，等離子鍍膜機(jī)，超聲波清洗，兆聲清洗機(jī)，AOI檢測(cè)，真空泵，真空加熱箱，真空保溫箱
1. 主機(jī)柜：
l 寬：約 600 mm
l 高：約 1700 mm
l 深：約 800 mm
2. 真空艙體：
l 艙體材質(zhì)：艙體：不銹鋼
艙門(mén)：鋁合金
l 艙體內(nèi)部尺寸： 寬：約 305mm
高：約 300 mm
深：約 370mm
l 艙體后板上有KF40法蘭的抽真空空和KF16法蘭的真空計(jì)接口和排氣口
l 艙門(mén)上有觀察窗1個(gè)
l 真空艙體與真空泵之間安裝有真空閥
3. 工藝氣體：
l 2路工藝氣體由質(zhì)量流量控制器（MFC）控制
l 1路清洗氣體
l 真空壓力檢測(cè)使用皮拉尼真空計(jì)
4.射頻電源：
l 射頻電源：1臺(tái)
l 電源輸出頻率：13.56MHz
l 電源輸出功率：0 –500 W
l 射頻電源配備自動(dòng)匹配器
l 安全保護(hù)：艙門(mén)安全開(kāi)關(guān)
電源高溫保護(hù)開(kāi)關(guān)
真空度檢測(cè)開(kāi)關(guān)
5. 電極與托盤(pán)
l 3組電極，電極與樣品托盤(pán)水平對(duì)稱(chēng)放置
6. 控制系統(tǒng)
l 設(shè)備通過(guò)PLC和觸摸屏控制
l 控制系統(tǒng)安裝在觸摸屏的工控機(jī)內(nèi)t
l 輸入與輸出電流隔離，高抗干擾性
l 2中控制模式：手動(dòng)模式：通過(guò)觸摸屏點(diǎn)擊手動(dòng)操作
l 自動(dòng)模式：通過(guò)編輯程序?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)操作:
l 可編輯參數(shù)：工藝氣路選擇；
啟動(dòng)工藝氣體真空度；
工藝氣體流量；
工藝氣體通入艙體內(nèi)穩(wěn)定時(shí)間；
啟動(dòng)射頻電源真空度；
射頻電源功率；
等離子處理時(shí)間；
清洗時(shí)間；
通風(fēng)時(shí)間。
l 自動(dòng)模式下所有工藝步驟實(shí)時(shí)顯示
l 艙體關(guān)閉狀態(tài)，真空壓力，射頻反射功率過(guò)大安全聯(lián)鎖
l 真空壓力曲線(xiàn)顯示
l 故障報(bào)警系統(tǒng)
7. 設(shè)備連接
l 工藝氣體：6 mm雙卡套接頭
l 設(shè)備供電：220 V / 16 A / 50-60 Hz
l 排氣：KF25標(biāo)準(zhǔn)接口
8. 萊寶油式真空泵：
l 抽速：約 16m3/h
l 極限真空度： 約 0.01mbar
l 電機(jī)輸出功率： 0.6KW
l 供電連接：220V
l 噪音值：60dB（A）使用氣鎮(zhèn)閥時(shí)66dB（A）
l 抽氣口：標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭
l 排氣口：標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭
l 冷卻方式：風(fēng)冷
l 工作環(huán)境溫度：5-40℃
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