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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>電子束曝光機>AP200/300 投影步進(jìn)電機

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AP200/300 投影步進(jìn)電機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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投影步進(jìn)光刻

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

主要特點

  • 2 μm 分辨率寬帶投影鏡頭,專為先進(jìn)封裝應(yīng)用而設(shè)計

    • 曝光波長為 350 – 450 nm,適用于各種封裝感光材料

    • 可編程波長選擇(GHI、GH、I),用于工藝優(yōu)化和工藝寬容度

    • 高強度照明提供的系統(tǒng)吞吐量

    • 適用于厚光刻膠工藝和大型晶圓形貌的大焦深

  • 高系統(tǒng)吞吐量,帶來有利的系統(tǒng)擁有成本


    • 高強度照明可減少曝光時間

    • 68 x 26mm 的視場大小可暴露兩個掃描視場,從而減少每個晶圓的曝光步驟數(shù)

    • 快速系統(tǒng)載物臺和晶圓輸入/輸出系統(tǒng),可減少處理時間

  • 具有自計量功能的靈活對準(zhǔn)系統(tǒng)


  • 機器視覺系統(tǒng) (MVS) 對準(zhǔn)功能消除了對專用對準(zhǔn)目標(biāo)的需求,并簡化了過程集成

    • 用于硅通孔和 3D 封裝的紅外對準(zhǔn)系統(tǒng),使用嵌入式/埋式目標(biāo)捕獲

    • 步進(jìn)自測量 (SSM) 用于優(yōu)化產(chǎn)品覆蓋

  • 先進(jìn)封裝特定特性


    • 用于電鍍工藝的晶圓邊緣曝光和晶圓邊緣排除功能

    • 翹曲晶圓處理能力可達(dá) 7mm,適用于扇出應(yīng)用

    • 通用晶圓處理,無需硬件轉(zhuǎn)換(8 和 12 英寸;或 6 和 8 英寸)

    • 用于制造大面積中介層的現(xiàn)場拼接軟件

  • 完整的 SECS/GEM 軟件包支持生產(chǎn)自動化和設(shè)備/過程跟蹤設(shè)備應(yīng)用:

  • 先進(jìn)封裝

  • 發(fā)光二極管

  • 微機電系統(tǒng)

  • 功率器件AP200/300 應(yīng)用套件:

  • 重新分布層

  • 微柱

  • 硅通孔Veeco 通過 AP 光刻技術(shù)實現(xiàn)重大差異:

  • 翹曲晶圓處理

  • 光學(xué)對焦能力

  • CD 均勻性的生產(chǎn)線分辨率,適用于 L/S

  • 安裝基礎(chǔ)和經(jīng)過驗證的大批量生產(chǎn)






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