VPG 200 / VPG 400 有掩膜光刻機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

掩模制造

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述：

VPG 200 / VPG 400 體積圖形發(fā)生器是光刻系統(tǒng)，為 i-line 光刻膠的多用途掩模制造而設(shè)計(jì)。它們支持所有標(biāo)準(zhǔn)的中小型面罩尺寸，大尺寸為 410 x 410 mm++2.

系統(tǒng)特點(diǎn)
光源	355 nm 的高功率 DPSS 激光器
大基板尺寸	9 英寸 x 9 英寸/17 英寸 x 17 英寸
基板厚度	0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度）
大曝光面積	205 x 205 毫米2/ 410 x 410 毫米2
自動(dòng)對焦	實(shí)時(shí)自動(dòng)對焦系統(tǒng)（光學(xué)和氣動(dòng)）
自動(dòng)對焦補(bǔ)償范圍	高達(dá) 80 μm
流量箱	（閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗(yàn)箱
對準(zhǔn)	用于測量和對準(zhǔn)的相機(jī)系統(tǒng)和軟件包
其他功能和選項(xiàng)	2D載物臺(tái)貼圖和數(shù)據(jù)、Mura校正、邊緣檢測器、多種數(shù)據(jù)輸入格式（DXF、CIF、GDSII、Gerber等）、可選的自動(dòng)掩模處理、可選的Zerodur®載物臺(tái)和特殊卡盤

系統(tǒng)尺寸
	系統(tǒng) / 電子機(jī)架
寬度 [mm]	2605 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3550 / 180

安裝要求
電氣	400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
壓縮空氣	6 - 10 巴