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SMART 蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

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蒸發(fā)薄膜沉積

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

該設(shè)備主要由有機/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測量系統(tǒng);蒸發(fā)源;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。

2.設(shè)備用途:

熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學,材料,電子等域。蒸鍍薄膜種類:Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機物等

3.產(chǎn)品配置:

真空室結(jié)構(gòu):六邊形側(cè)開門

真空室尺寸:φ350×370mm

限真空度:≤6.6E-4Pa

沉積源:1個鎢舟、2個有機源

樣品尺寸,溫度:大可放置4片20mmx25mm的基片,基片不加熱,可自轉(zhuǎn),速度5~20轉(zhuǎn)/分;

占地面積(長x寬x高):約1米x1米x1.9米

電控描述:手動

樣品臺:可放置基片,并可能具有旋轉(zhuǎn)、加熱等功能,以滿足不同的工藝需求。例如,加熱功能可以使樣品達到一定溫度,適應(yīng)某些材料的沉積要求;旋轉(zhuǎn)功能有助于提高薄膜的均勻性。

控制系統(tǒng):采用先進的控制系統(tǒng),方便用戶設(shè)置和調(diào)整工藝參數(shù),如蒸發(fā)速率、沉積時間等。

多種材料沉積能力:可以沉積多種不同的薄膜材料,以滿足不同的應(yīng)用需求。

良好的穩(wěn)定性和可靠性:確保系統(tǒng)能夠長時間穩(wěn)定運行,保證薄膜沉積的重復(fù)性和一致性。

可視化操作界面:可能具有直觀的操作界面,方便用戶進行操作和監(jiān)控。

不同型號的 SMART 蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)在具體參數(shù)和功能上可能會存在差異,例如真空度的高低、蒸發(fā)源的類型和功率、樣品臺的尺寸和可調(diào)節(jié)范圍、膜厚監(jiān)測的精度等。 



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