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AIX G5 WW C 化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)

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半導(dǎo)體沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

主要優(yōu)點(diǎn)

  • 吞吐量和每片晶圓擁有成本

  • 批量配置中的單片性能，可實(shí)現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量

  • 兼容硅晶圓廠的自動化技術(shù)支持碳化硅電源市場加速增長

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應(yīng)器

  • 在生長室中高效利用氣體

  • 晶圓級溫度控制

  • 晶圓盒到晶圓盒處理

  • 快速外延處理

  • 8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)

  • AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性

  • SECS-GEM工廠接

主要優(yōu)點(diǎn)

  • 吞吐量和每片晶圓擁有成本

  • 批量配置中的單片性能，可實(shí)現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量

  • 兼容硅晶圓廠的自動化技術(shù)支持碳化硅電源市場加速增長

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應(yīng)器

  • 在生長室中高效利用氣體

  • 晶圓級溫度控制

  • 晶圓盒到晶圓盒處理

  • 快速外延處理

  • 8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)

  • AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性

  • SECS-GEM工廠接口







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