Beneq Transform® 300 ALD

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ALD

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

價格區(qū)間	面議	應用領域	能源,電子

1.產品概述：

Beneq Transform 300 是一個高度通用的制造平臺，面向致力于 CIS、電源、Micro-OLED/LED、先進封裝和其他 MtM 應用的 IDM 和代工廠。它是一種高度可配置的解決方案，適用于多種高薄膜應用，從柵電介質到鈍化和/或封裝等。

2.產品優(yōu)勢：

大的靈活性和功能：Beneq Transform® 300 是一款同時提供熱 ALD（批量）和等離子 ALD（單晶圓）技術的 300mm 原子層沉積（ALD）簇工具。

配置：找到適合您的設置。 Transform® 300 平臺旨在滿足廣泛的容量和應用要求，包括先進封裝、芯片封裝和磁帶晶圓應用。

生產力：行業(yè)標準的頂水平。該工具包括可維護性和可用的短 MTTCR。借助我們有的預熱模塊，您可以享受熱批量 ALD 的高吞吐量。

晶圓廠就緒：Beneq Transform® 300 與 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 和 S8 標準。