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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>GEMINI系列 MPI探針臺

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GEMINI系列 MPI探針臺

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產品概述:

   探針臺是一種精密的電子測試設備,主要用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。它集成了載物臺、光學元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個部分,能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,從而進行高精度的電氣測量。探針臺根據操作方式可分為手動、半自動和全自動三種類型,每種類型都有其特定的應用場景和優(yōu)勢。

2 設備用途:

探針臺的主要用途包括:

  1. 半導體測試:在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),探針臺負責晶圓的輸送與定位,確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現更加精確的數據測試測量。它廣泛應用于晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應用。

  2. 光電行業(yè)測試:在光電行業(yè)中,探針臺同樣用于測試光電元件和組件的性能,確保產品的質量和可靠性。

  3. 集成電路測試:探針臺可用于集成電路的測試,包括功能測試、電參數測試等,幫助工程師評估和優(yōu)化集成電路的性能。

  4. 封裝測試:在封裝工藝之前,探針臺可以對封裝基板進行測試,確保封裝過程中不會出現質量問題。

3 設備特點

探針臺具有以下顯著特點:

  1. 高精度:探針臺配備高精度的定位系統(tǒng)和微調機構,能夠精確地將探針定位到芯片上的測試點,并實現穩(wěn)定的接觸,確保測試的準確性和可靠性。

  2. 多功能性:探針臺可用于多種測試場景,包括晶圓檢測、芯片研發(fā)、故障分析、網絡測量等,具有廣泛的應用范圍。

  3. 自動化程度高:全自動探針臺通常配備有晶圓材料處理搬運單元(MHU)、模式識別(自動對準)等功能,能夠自動完成測試序列,減少人工干預,提高測試效率。

  4. 靈活性:探針臺可根據測試需求進行配置和調整,如可選配接入光纖,將電學探針替換為光纖,提高測試靈活性。

4  設備參數:

  • 由于結合了精確的探測臺、集成的控制軟件和微調的電動定位系統(tǒng),實現了出色的對準精度。

  • 對具有非常小焊盤尺寸和低至微米級間距的      Micro LED 具有高精度探測能力。
         -
    精密的針力控制
         -
    精確的熱控制
         -
    適用于不同測試環(huán)境的抗振解決方案 - 探頭接觸補償

  • 集成探針卡或微定位器,用于可靠的      Micro LED 背板測量。
         -
    能夠輕松 測試具有復雜焊盤布局的光學設備 - 靈活的探頭序列管理

  • MPI 探針臺控制軟件提供全面的控制功能,從基本的晶圓對準、映射、探針標記檢測到部署 MPI 先進的針對準機構 (NAM) 技術。

  • MPI 光子學測試系統(tǒng)采用以用戶為中心的設計,可根據您的要求靈活配置和編程。

靈活性:由于支持多種測試配方,用戶可以根據正在執(zhí)行的產品和測試靈活選擇或修改工作流程或編輯參數。
生產管理:通過直觀易用的軟件界面管理實驗室/生產數據。集成的實時系統(tǒng)監(jiān)控和報告功能可實現順暢且無人值守的測試過程。
無縫集成:借助 MPI 廣泛的儀器庫,MPI 測試系統(tǒng)可以輕松與主流第三方測量儀器對接,滿足您測試需求。




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