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SENTECH AL AL實(shí)時(shí)監(jiān)控器
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 SENTECH
- 型號(hào) SENTECH AL
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 9:53:27
- 訪問次數(shù) 287
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,電氣 |
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1. 產(chǎn)品概述
SENTECH AL 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)器是一種經(jīng)過驗(yàn)證的光學(xué)診斷工具，可實(shí)現(xiàn)單個(gè) ALD 和 ALE 周期的超高分辨率。主要應(yīng)用是在不破壞真空的情況下分析薄膜特性（生長(zhǎng)速率、厚度、折射率以及蝕刻速率），在短時(shí)間內(nèi)開發(fā)新工藝，以及實(shí)時(shí)研究 ALD 和 ALE 周期期間的反應(yīng)機(jī)理。
2. 主要功能與優(yōu)勢(shì)
高效的工藝開發(fā)和優(yōu)化
使用單原子層沉積 （ALD） 或原子層蝕刻 （ALE） 循環(huán)可以快速輕松地開發(fā)和優(yōu)化原子層工藝。SENTECH AL 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)器以 40 ms 的超高時(shí)間分辨率顯示吸附和解吸。節(jié)省了工藝、基材、驅(qū)體和氣體的開發(fā)時(shí)間。
保存驅(qū)體
使用 SENTECH AL 實(shí)時(shí)監(jiān)控器進(jìn)行優(yōu)化后，ALD 處理變得更加高效。節(jié)省了驅(qū)體和處理時(shí)間。
驅(qū)體制品控制
當(dāng)驅(qū)體供應(yīng)耗盡時(shí)，SENTECH AL實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)器檢測(cè)到的每個(gè)周期的生長(zhǎng)變化會(huì)立即顯示出來(lái)。
靈活性和模塊化
創(chuàng)新的 SENTECH AL 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)器為快速高效的工藝開發(fā)和優(yōu)化而設(shè)計(jì)，可使用 SENTECH PEALD 和 ALD 系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化。
一個(gè)軟件即可輕松操作 SENTECH PEALD 系統(tǒng)、SENTECH ALE 系統(tǒng)和 SENTECH AL 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)器。
用于光學(xué)常數(shù)的大型材料庫(kù)支持新工藝的開發(fā)，并可以通過非原位表征進(jìn)行擴(kuò)展。
SENTECH AL 實(shí)時(shí)監(jiān)控器集成到 SENTECH SIA 操作軟件中，確保操作簡(jiǎn)單。
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