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7920 雙軸半自動(dòng)劃片機(jī)

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劃片機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

7920劃片機(jī)是一款先進(jìn)的半導(dǎo)體切割設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和封裝域。該設(shè)備結(jié)合了高精度、高效率和穩(wěn)定性等特點(diǎn),能夠滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)對切割精度的嚴(yán)格要求。

2.技術(shù)特點(diǎn):

高精度切割:采用先進(jìn)的切割技術(shù)和高精度控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至納米的切割精度,確保切割邊緣的平整度和精度。

高效率生產(chǎn):設(shè)備配備有高效的切割系統(tǒng)和優(yōu)化的工作流程,能夠顯著提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。

穩(wěn)定性強(qiáng):設(shè)備結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,運(yùn)行穩(wěn)定,能夠在長時(shí)間、高強(qiáng)度的生產(chǎn)環(huán)境中保持穩(wěn)定的切割性能。

3.產(chǎn)品工藝:

g工件尺寸:Φ 8"

主軸:兩個(gè)對向主軸,高轉(zhuǎn)速60,000轉(zhuǎn)/1.2kW

刀片尺寸:2" ~ 3"

控制器:線性編碼器/Y

分辨率:0.1 μmY軸)、0.2 μmZ1/Z2軸)

累積精度:1.5 μm

步進(jìn)精度:1.0 μm

Z1/Z2軸:重復(fù)精度1.0 μm,大行程30 mm (2.188" 刀片外徑)

工件尺寸:12" × 10" ?12"

主軸:兩個(gè)對向主軸,高轉(zhuǎn)速60,000轉(zhuǎn)/1.2kW

X軸:配備氣動(dòng)滑塊

θ軸:重復(fù)精度4 arc-sec,行程350°

電氣:200-240VAC, 50-60Hz, 單相

尺寸:875 × 975 × 1450 mm

重量:900 kg

分辨率:未特別提及Z軸分辨率,但基于7920 DUO信息,可能類似

累積精度:與7920 DUO相同,為1.5 μm

步進(jìn)精度:與7920 DUO相同,為1.0 μm(若適用)






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