化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐> LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備
LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/6 11:32:20
- 訪問次數(shù) 210
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1.產(chǎn)品概述：
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統(tǒng)具有與 LSA101 相同的架構(gòu)，但包括獲得利的微室設(shè)計(jì)，可在掃描激光系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)全晶圓環(huán)境控制。該微室在于它不需要使用真空負(fù)載鎖。該系統(tǒng)能夠運(yùn)行任何惰性氣體的混合物，包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵結(jié)活化和鎳硅化物形成等應(yīng)用。LSA201 非常適合 20nm 以下的工藝，例如環(huán)境控制至關(guān)重要的界面工程和材料改性。
2.產(chǎn)品特點(diǎn)
長波長、布魯斯特角、p 偏振光，可實(shí)現(xiàn)佳的芯片內(nèi)均勻性
閉環(huán)溫度反饋控制，保持嚴(yán)格的溫度控制
布局獨(dú)立設(shè)計(jì)，非常適合處理平面和 FinFET 器件
具有靈活停留時(shí)間的局部應(yīng)力場可實(shí)現(xiàn)低應(yīng)力處理并減少晶圓破損。
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