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80 Plus 條形等離子清潔系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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半導(dǎo)體前道清洗

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品特點(diǎn)

80 Plus 條形等離子清潔系統(tǒng)為半導(dǎo)體加工而開發(fā),可支持手動及自動操作,兩種操作方式均簡單易用。該系統(tǒng)可以配備或不配備裝卸站;此外,每個裝卸站都可支持不同的配置。即便沒有裝卸站,也可將其集成到生產(chǎn)線中。

2.產(chǎn)品配置

該軟件直觀,滿足當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn),其主要應(yīng)用域是表面的活化和清潔。80 Plus系統(tǒng)操作十分高效,加上其等離子技術(shù),使用它進(jìn)行等離子處理只需幾即可完成。

通過使用該系統(tǒng)進(jìn)行等離子處理,可以快速有效地清除晶圓表面的雜質(zhì)和污染物。這有助于提高晶圓的質(zhì)量和性能,并確保生產(chǎn)過程中的穩(wěn)定性和一致性。

另外,80 Plus系統(tǒng)還具有智能控制功能,可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行參數(shù)調(diào)整。這使得用戶可以根據(jù)不同的加工要求來優(yōu)化處理過程,并獲得佳的加工效果。

除了晶圓表面清潔功能外,80 Plus系統(tǒng)還可以用于其他應(yīng)用域。例如,在光伏行業(yè)中,它可以用于太陽能電池片的制造過程中,提高電池片的效率和穩(wěn)定性。

PVA TePla 提供研發(fā)和合同代加工的廣泛應(yīng)用服務(wù)。 許多客戶利用這些服務(wù)進(jìn)行臨床試驗(yàn)和中小型生產(chǎn)。

80 Plus 等離子系統(tǒng)提供兩種電配置

離子配置:射頻為 13.56 MHz 的電磁輻射通過電被送入腔室,以便通過加速離子實(shí)現(xiàn)表面轟擊。除了這種物理效應(yīng),還有一種化學(xué)效應(yīng),但它比使用微波頻率時獲得的效果要小。

千兆配置:如果等離子設(shè)備配備微波發(fā)生器,則使用 2.45 GHz 的頻率。腔室中沒有電;微波在真空室外部產(chǎn)生,然后通過天線或波導(dǎo)輸入。具有這種配置的等離子體以純化學(xué)方式工作。

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