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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>Lumina AS/P 金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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Lumina AS/P 金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

Lumina® 系統(tǒng)基于 Veeco 業(yè)界的金屬有機物化學(xué)氣相沉積 (MOCVD) TurboDisc® 技術(shù),在長時間的生產(chǎn)過程中,其具有均勻性和低缺陷率,帶來出色的產(chǎn)量和靈活性。此外,Veeco 的有技術(shù)也提供均勻的熱控制,可實現(xiàn)的厚度和組合均勻性。該系統(tǒng)提供無縫晶片尺寸過渡,能夠在直徑達 8 英寸的晶片上沉積高質(zhì)量 As/P 外延層。Lumina 系統(tǒng)允許用戶自定義系統(tǒng)以實現(xiàn)大價值。

2.產(chǎn)品應(yīng)用

VCSEL

3D 傳感

LiDAR

高速數(shù)據(jù)通信

邊緣發(fā)射激光器

先進的光學(xué)通信

硅光電

迷你和微型 LED

4K 和 8K 電視顯示屏

智能手機

可穿戴設(shè)備

AR/VR(增強現(xiàn)實/虛擬現(xiàn)實)



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