化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>Propel HVM GaN 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積
Propel HVM GaN 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積
- 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號(hào) Propel HVM GaN
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 15:28:38
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 392
聯(lián)系方式：謝澤雨19842703026 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
1.產(chǎn)品概述：
Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系統(tǒng)被設(shè)計(jì)為一種大批量制造單晶圓反應(yīng)器簇系統(tǒng)，適用于基于GaN的功率、射頻和光子器件。采用單晶圓反應(yīng)器平臺(tái)，能夠在150和200毫米晶圓上產(chǎn)生高質(zhì)量外延膜性能，以實(shí)現(xiàn)均勻性、可重復(fù)性和良率。PropelHVM系統(tǒng)可配置多達(dá)6個(gè)模塊化集群室，以實(shí)現(xiàn)最大的生產(chǎn)力和靈活性，是客戶(hù)、鑄造廠或IDM業(yè)務(wù)的理想選擇。
2.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
單晶圓反應(yīng)器基于VeecoTurboDisc®設(shè)計(jì)，采用突破性技術(shù)，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整個(gè)晶圓上提供層流和均勻的溫度分布?？蛻?hù)可以輕松地將工藝從Veeco的單晶圓反應(yīng)器Propel和K465i™系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到PropelHVMGaNMOCVD平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)快速開(kāi)發(fā)到生產(chǎn)周期.
Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系統(tǒng)被設(shè)計(jì)為一種大批量制造單晶圓反應(yīng)器簇系統(tǒng)，適用于基于GaN的功率、射頻和光子器件。采用單晶圓反應(yīng)器平臺(tái)，能夠在150和200毫米晶圓上產(chǎn)生高質(zhì)量外延膜性能，以實(shí)現(xiàn)均勻性、可重復(fù)性和良率。PropelHVM系統(tǒng)可配置多達(dá)6個(gè)模塊化集群室，以實(shí)現(xiàn)大的生產(chǎn)力和靈活性，是客戶(hù)、鑄造廠或IDM業(yè)務(wù)的理想選擇。
單晶圓反應(yīng)器基于VeecoTurboDisc®設(shè)計(jì)，采用突破性技術(shù)，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整個(gè)晶圓上提供層流和均勻的溫度分布。客戶(hù)可以輕松地將工藝從Veeco的單晶圓反應(yīng)器Propel和K465i™系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到PropelHVMGaNMOCVD平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)快速開(kāi)發(fā)到生產(chǎn)周期。
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)