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Propel 300mm GaN 金屬化學(xué)氣相沉積MOCVD

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金屬化學(xué)氣相沉積MOCVD

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

Propel™ 300mm全自動單晶圓簇系統(tǒng)是經(jīng)過行業(yè)驗(yàn)證的GaN MOCVD工具,能夠在300mm襯底上生產(chǎn)5G RF、Photonic和先進(jìn)的CMOS器件。

Propel 300mm 系統(tǒng)采用單晶圓反應(yīng)器平臺,能夠在 300mm 晶圓上生產(chǎn)的高質(zhì)量外延膜,具有出色的均勻性、可重復(fù)性和產(chǎn)量。Propel 300mm 系統(tǒng)可配置多達(dá) 3 個模塊化集群室,并提供自動化的膜包到膜包處理,以實(shí)現(xiàn)最大的靈活性和生產(chǎn)率。

單晶圓反應(yīng)器基于 Veeco  TurboDisc® 設(shè)計(jì),包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技術(shù),可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布??蛻艨梢暂p松地將工藝從 Veeco 單晶圓反應(yīng)器 Propel 和 Propel HVM 系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系統(tǒng),以便快速開發(fā)到生產(chǎn)。




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