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WS-1000 濕法勻膠工作臺

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

半導(dǎo)體前道勻膠機

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 尺寸

48英寸(寬)x433/8英寸(深)x741/4英寸(高)(121.9厘米(寬)x110.04厘米(深)x188.60厘米(高)

2. 典型工藝

蝕刻

顯影—水性/溶劑

清潔—水性/溶劑

硫酸/過氧化物(原位混合)

HBr

溫控顯影

漂洗/烘干

3. 特征

全聚丙烯結(jié)構(gòu)(可提供自熄功能)                          

適合安裝任何Laurell旋轉(zhuǎn)處理器

穿孔濕甲板(易于拆卸)

濕式增壓室

帶儀表的排氣增壓室

下方為加熱器、泵、容器的隔離組件/抽屜......

4. 選項

觸摸屏控制界面

觀看LaurellTouch演示視頻

處理器排氣聯(lián)鎖(EDC™型號標配)         

化學(xué)加熱

通過壓力容器物料攪拌(磁性)

沖洗至電阻率

排水分流器

真空裝載棒

晶圓盒支架

泄漏檢測

燈塔

如有需要,可提供高材料                        

5. 阻燃選項

WS-1000-CP7-D—聚丙烯配方其阻燃特性符合嚴格的FMRC4910測試標準對于大多數(shù)方面的阻燃性、自熄性和燒穿特性。這種先進的材料還達到或超過了低煙霧產(chǎn)生和小有毒副產(chǎn)物的測試標準。




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