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ALD-150LE™ 原子層沉積ALD

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ALD-150LE™原子層沉積ALDKURT.J.LESKER

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










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價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工

Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD150LE™是我們但極其靈活的原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng),專為入門級到中級用戶而設(shè)計(jì)。該ALD150LE™配置為純熱原子層沉積,工藝室設(shè)計(jì)促進(jìn)了均勻的母離子分散和輸送。加熱和溫度控制進(jìn)一步增強(qiáng)了系統(tǒng)性能??傮w而言,該ALD150LE™在緊湊的設(shè)計(jì)中提供了的靈活性和性能,而不會犧牲可維護(hù)性。

該ALD150LE™配置為純熱原子層沉積,我們的垂直流設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)分離、均勻的前驅(qū)體輸送,同時(shí)降低背景雜質(zhì)水平,從而提高薄膜質(zhì)量。為避免不必要的材料在輸送通道內(nèi)積聚和顆粒形成,有兩個(gè)獨(dú)立的腔室入口可用于前驅(qū)體分離。例如,可以使用單獨(dú)的入口來分離金屬有機(jī)前體和共反應(yīng)物,以防止在輸送管線和閥門中沉積。

  • 兩個(gè)獨(dú)立的進(jìn)樣口,用于前驅(qū)體輸送,可防止輸送通道中不必要的積聚

  • 開放式裝載室經(jīng)過精心設(shè)計(jì),可最大限度地減少由于密封脫氣和滲透引起的背景雜質(zhì)

  • 獨(dú)立的基板加熱器平臺和外腔殼體,可實(shí)現(xiàn)出色的溫度控制和均勻性

  • 304L不銹鋼結(jié)構(gòu)

  • 可訪問、低維護(hù)的設(shè)計(jì)

ALD150LE™開路負(fù)載設(shè)計(jì)允許在樣品引入過程中將基物(直徑最大為 150 mm)直接放置在基板加熱器臺上。在隨后的原子層沉積(ALD)處理過程中,集中式母離子輸送和泵送建立了一個(gè)屏障,將下游腔室密封的雜質(zhì)擋在反應(yīng)區(qū)之外。彈性體腔密封件在下游的戰(zhàn)略定位可使雜質(zhì)(由于密封件釋氣和滲透)遠(yuǎn)離基材表面,從而提高 ALD 薄膜質(zhì)量。特別是,這是在開放式負(fù)載室設(shè)計(jì)中獲得高質(zhì)量氮化物膜的一個(gè)重要特征。





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