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BTF-1200C-SL-A 等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專(zhuān)業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開(kāi)大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專(zhuān)注于新材料裝備工藝開(kāi)發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門(mén)類(lèi)涵蓋了OLED材料提純專(zhuān)用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類(lèi)共十余個(gè)子類(lèi),與眾多材料廠商、科研院校等保持長(zhǎng)期合作關(guān)系,市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
      連年來(lái),公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專(zhuān)精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長(zhǎng)設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國(guó)隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎(jiǎng)”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎(jiǎng)”等多項(xiàng)榮譽(yù)。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

一、設(shè)備簡(jiǎn)介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設(shè)備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調(diào),加熱區(qū)域長(zhǎng)度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜,連續(xù)生長(zhǎng)各種薄膜等。


二、技術(shù)參數(shù)

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

最高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開(kāi)大?。ㄗ詡洌?/span>

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm


等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

最大滑動(dòng)距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質(zhì)量流量計(jì)

兩路500sccm+5000sccm

機(jī)械泵

10m3/h

設(shè)備凈重

約230Kg






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