1. 產(chǎn)品概述：

SICma System 是 PVA TePla 公司專為通過物理氣相傳輸（PVT）方式生產(chǎn)碳化硅晶體而設(shè)計的系統(tǒng) 12。在 PVT 過程中，粉末狀的原材料在高溫下被加熱和升華，最終沉積在特定準備的基片上。該系統(tǒng)采用感應(yīng)線圈在千赫茲范圍內(nèi)進行加熱，在全球范圍內(nèi)擁有十多年的應(yīng)用經(jīng)驗。

2. 設(shè)備應(yīng)用：

· 半導(dǎo)體行業(yè)：用于生產(chǎn)碳化硅晶體，碳化硅具有更大的禁帶帶隙、更高的擊穿場強和更高的熱導(dǎo)率，是制造高達千伏范圍的電子器件的理想材料，可應(yīng)用于功率半導(dǎo)體器件如二極管、晶體管等的制造。

· 研發(fā)領(lǐng)域：為科研機構(gòu)提供了一個可靠的平臺，用于開展關(guān)于碳化硅晶體生長、材料特性研究等方面的實驗和探索，有助于推動碳化硅相關(guān)技術(shù)的不斷進步和創(chuàng)新。

3. 設(shè)備特點：

· 高度自動化：能夠?qū)崿F(xiàn)高度自動化的生產(chǎn)過程，減少了人工干預(yù)，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，降低了人為誤差對晶體生長的影響 。

· 緊湊設(shè)計：具有緊湊的產(chǎn)品設(shè)計，為泵和電源等提供了高度靈活性的選擇，有助于節(jié)省空間，同時也方便在不同的生產(chǎn)環(huán)境中進行安裝和布局。

· 工藝高復(fù)制性：通過豐富的配件選擇和高度自動化，實現(xiàn)了工藝的高復(fù)制性，使得在不同批次的生產(chǎn)中能夠保持較為一致的晶體生長條件和產(chǎn)品質(zhì)量。

· 接口靈活：提高了應(yīng)用靈活性，為客戶提供特定過程控制系統(tǒng)接口，如半導(dǎo)體行業(yè)中常見的制造執(zhí)行系統(tǒng)（MES），便于與其他生產(chǎn)設(shè)備和管理系統(tǒng)進行集成和協(xié)同工作。

· 實時技術(shù)支持：客戶可以隨時聯(lián)系 PVA TePla 公司的專家，及時對工藝制作過程中可能發(fā)生的意外或變化進行修正、調(diào)整和系統(tǒng)優(yōu)化，確保生產(chǎn)過程的順利進行和問題的及時解決。

· 可定制化：支持根據(jù)客戶需求進行定制，包括籽晶片尺寸的選擇等，滿足不同客戶的特定要求，為客戶提供了更多的選擇和可能性。

4. 產(chǎn)品參數(shù)：

最大晶體直徑： 6"

4英寸石英管的內(nèi)徑加工室： 286 mm

4英寸石英管的內(nèi)徑加工室： 378 mm

頻率： 6 - 10 kHz