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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>其它干燥設(shè)備>VCM-125 HMDS真空鍍膜機(jī)

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VCM-125 HMDS真空鍍膜機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海喆圖科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 GEMTOP/喆圖
  • 型號 VCM-125
  • 產(chǎn)地 上海市奉賢區(qū)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/11/12 9:08:18
  • 訪問次數(shù) 288

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上海喆圖科學(xué)儀器有限公司產(chǎn)品主要有臺式真空干燥箱,實(shí)驗(yàn)室真空干燥箱,高精度真空干燥箱,數(shù)顯真空干燥箱,數(shù)顯電熱鼓風(fēng)干燥箱,智能電熱鼓風(fēng)干燥箱、生化培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、恒溫恒濕箱、光照氣候箱、人工氣候箱、二氧化碳培養(yǎng)箱、電熱恒溫培養(yǎng)箱、隔水式恒溫培養(yǎng)箱、鼓風(fēng)干燥箱、立式鼓風(fēng)干燥箱、高溫鼓風(fēng)干燥箱、真空干燥箱、熱空氣消毒箱(干烤滅菌器)、干燥培養(yǎng)兩用箱、恒溫水槽、恒溫水浴鍋、低溫恒溫水槽、恒溫加熱板、一體馬弗爐、搖床等科研儀器設(shè)備。公司座落在擁有深厚的近代城市文化底蘊(yùn)和眾多歷史古跡的名城—上海,它是中國國家中心城市,中國的經(jīng)濟(jì)、金融中心。我公司致力于科研儀器行業(yè)的發(fā)展,專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)儀器的研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)、為一體的高科技企業(yè)。公司秉著“創(chuàng)新、質(zhì)量、服務(wù)”的企業(yè)理念,贏得了諸多用戶的信任和業(yè)界相傳的口碑。目前我們的產(chǎn)品已涵蓋教育、科研、醫(yī)療、衛(wèi)生、檢疫、制藥、食品、農(nóng)業(yè)、化工、石油、環(huán)保等行業(yè),并與眾多企業(yè)和高等院校及科研事業(yè)單位精密合作。

公司依托上海得天獨(dú)厚的資源優(yōu)勢,立足“高起點(diǎn),高技術(shù),高質(zhì)量,高效率,高效益”的“五高”建設(shè)方針,發(fā)揚(yáng)“艱苦奮斗、開拓務(wù)實(shí)”的企業(yè)精神和“我是喆圖人”的團(tuán)隊(duì)精神,把質(zhì)量至上戰(zhàn)略、人才發(fā)展戰(zhàn)略、感動客戶戰(zhàn)略作為喆圖發(fā)展戰(zhàn)略,堅(jiān)持技術(shù)和管理創(chuàng)新,使喆圖科儀朝著科技超常規(guī)跨越式的道路方向發(fā)展。

公司重視企業(yè)文化,企業(yè)文化是價值理念和實(shí)踐行為的高度統(tǒng)一,是公司多年來長期生產(chǎn)經(jīng)營過程中逐步形成的,喆圖模式是公司企業(yè)文化建設(shè)的有效載體,“喆圖科學(xué)、喆圖儀器、喆圖為您”品牌形象的塑造是喆圖企業(yè)文化建設(shè)的具體體現(xiàn)。

作為中國科研儀器行業(yè)的生產(chǎn)研發(fā)型企業(yè),喆圖人自覺肩負(fù)“助力科學(xué)研究”的企業(yè)使命,以“員工幸福、客戶滿意、成人成己、益國利民”為企業(yè)宗旨,通過實(shí)施“儀器生產(chǎn)規(guī)?;?、技術(shù)裝備現(xiàn)代化、隊(duì)伍專業(yè)化和管理手段信息化”四化工程,提升了“喆圖”品牌價值,形成了“真誠、感恩、責(zé)任、堅(jiān)持”的喆圖核心價值觀,為企業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)大的精神動力。

我公司是一個有激情和夢想的團(tuán)隊(duì),我們秉承“以人為本、盡責(zé)誠信、創(chuàng)新共贏、奉獻(xiàn)社會”的企業(yè)理念,始終不渝的堅(jiān)持主觀與客觀的結(jié)合,使團(tuán)隊(duì)和員工充滿創(chuàng)造的激情。

公司立足于重實(shí)際、辦實(shí)事、見實(shí)效,把文化理念融入到生產(chǎn)建設(shè)和質(zhì)量管理的各個環(huán)節(jié),致力于用文化提升領(lǐng)導(dǎo)力、執(zhí)行力和凝聚力,以文化促進(jìn)生產(chǎn)力,以軟實(shí)力提升公司整體發(fā)展水平。如今的喆圖企業(yè)文化已彰顯出無窮魅力,正在推動喆圖科儀 不斷向前!

 

喆圖品牌釋義:

喆:【前漢·敘傳】圣喆之治,意為明智,有智慧。圖從字形上理解是一個非常吉利的字,左右結(jié)構(gòu)兩個“吉”組合而成,寓意大吉大利,我公司據(jù)此將“喆”引申表達(dá)為一個愿望、思想。

圖:【尚書·太甲上】慎乃儉德,惟懷永圖;視履考祥,其旋元吉。意為要重視節(jié)儉之德,懷有長遠(yuǎn)的謀劃。天高地遠(yuǎn),人生其中,艱難叢生,困苦迭出,無可回避。處此艱難旅途的君子,應(yīng)該以內(nèi)心的和悅?cè)犴?,去?yīng)付外界的剛健強(qiáng)勁。剛?cè)嵯酀?jì),內(nèi)外相應(yīng),天人和諧。如此,方能逢兇化吉,順暢無憂。公司的“圖”取自大展宏圖,勵精圖治,有寄寓公司產(chǎn)品精益求精之意,表示一種抱負(fù)、前程。

“喆圖”品牌可用“愿望、前程、奮斗”三個詞語表達(dá),喆圖人愿充分利用聰明智慧,做事精益求精。以達(dá)成喆圖愿景的美好愿望而謀劃,創(chuàng)造更大的經(jīng)濟(jì)、社會、人文價值,為追求喆圖宗旨來做為抱負(fù)而奮斗,使得員工幸福、客戶滿意、成人成己、利國利民。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

生化培養(yǎng)箱,恒溫恒濕培養(yǎng)箱,人工氣候培養(yǎng)箱,光照培養(yǎng)箱,霉菌培養(yǎng)箱,鼓風(fēng)干燥箱,真空干燥箱,陶瓷纖維馬弗爐,箱式電阻爐,電熱恒溫水浴鍋

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè)

用途概述

HMDS真空鍍膜機(jī)化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),HMDS真空鍍膜機(jī)又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),指需在低真空度下進(jìn)行的鍍膜。對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行,沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料,為基片在涂膠前改善表面活性,增加光刻膠與基底的粘附力的設(shè)備,也可用于晶片其它工藝的清洗,尤其在芯片研發(fā)和生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用更加普及。

產(chǎn)品特點(diǎn)

采用PLC工控自動化系統(tǒng),人機(jī)界面采用觸摸屏,具有可靠性高,操作智能方便。

PLC微電腦PID控制系統(tǒng)具有自動控溫、定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示,控溫可靠;

智能化觸摸屏控制系統(tǒng)可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間;

采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內(nèi)密封性好;

外殼和加熱管均采用不銹鋼材質(zhì),內(nèi)膽不銹鋼,無易燃易爆裝置,無發(fā)塵材料;

以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液態(tài)涂布均勻,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液。

去水烘烤和增粘(疏水)處理一機(jī)完成無需轉(zhuǎn)移,有效規(guī)避HMDS泄露的風(fēng)

HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,使真空箱密封性好,確保HMDS氣體外漏

多余的HMDS蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,確保安全以及環(huán)保。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性

HMDS涂到晶片表面后,經(jīng)加溫后可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,

它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷鹬詈献饔?,可更好與光刻膠結(jié)合,保證涂膠工藝不影

響光刻效果和顯影。

HMDS本身是表面改性,不會涂在圓片表面,HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果。

HMDS處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時內(nèi)完成涂膠。

HMDS預(yù)處理程序

HMDS(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_

真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開始充入氮?dú)?,充到一定低?/span>

空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開始保

持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入

通過氮?dú)獾腍MDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,

使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮?dú)猓?/span>

完成整個作業(yè)過程。

技術(shù)參數(shù)

型號

VCM-90

VCM-125

VCM-210

電源電壓

AC 220V 50Hz

控制系統(tǒng)

PLC控制

儀表控制

彩色觸摸屏

控溫范圍

RT+10-250℃

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動度

±0.5

真空度

≤133pa

內(nèi)膽尺寸

450*450*450

500*550*500

550*550*650

容積

90L

125L

210L

真空泵

選配

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