SBC-16磁控離子濺射儀

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產(chǎn)品標簽

鍍膜離子濺射儀制樣磁控離子濺射儀制樣設備

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公司介紹 主營產(chǎn)品

北京中科科儀光電科技有限公司是北京中科科儀股份有限公司注冊的全資子公司，追蹤電子光學技術，不斷推出適應市場，滿足客戶需求的電子光學產(chǎn)品，為客戶提供系列標準化掃描電子顯微鏡、定制電子光學儀器、輔助設備、制樣設備以及系統(tǒng)集成的解決方案。

展開

掃描電子顯微鏡，離子濺射儀，電鏡附屬設備

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價格區(qū)間	面議
應用領域	化工,石油,地礦,能源,制藥

主要特性

1、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

2、操作容易快捷，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

3、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。

4、可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶為標配），靶材更換快速方便。

技術參數(shù)

濺射系統(tǒng)
靶材	Au 靶為標配，可選 Pt，直徑 57mm x 0.1mm 厚
標準樣品臺	可以裝載 12 個 SEM 樣品座，高度可調(diào)范圍為 60mm
旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺（選配）	旋轉(zhuǎn)速度： 0~60rpm 連續(xù)可調(diào)，傾斜角度： -90 °~ 90°連續(xù)可調(diào)；不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm；觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm；標配旋轉(zhuǎn)臺直徑 40mm，可放 4 個標準樣品臺，其它規(guī)格可訂做；具有雙重鎖緊裝置，可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時不會松動脫落。
濺射電流	微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，電流 5~30mA，程序化數(shù)字控制
計量表	真空： Atm - 1*10-3 mbar，電流： 0~99mA
控制方法	帶有 “開始”“暫?！卑粹o的微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺射、關機后自動放氣。
真空系統(tǒng)
抽氣速率	133L/MIN
極限真空	10-4 mbar 級
噪音	56dB