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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)> C-25型單面光刻機(jī) 高精度

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C-25型單面光刻機(jī) 高精度

參考價 99
訂貨量 ≥1
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      北京長恒榮創(chuàng)科技有限公司是一家專業(yè)的光學(xué)顯微鏡提供商,是一家以生產(chǎn)、研發(fā)、銷售高品質(zhì)顯微鏡的科技公司,公司經(jīng)營的主要產(chǎn)品有:倒置顯微鏡,倒置金相顯微鏡,正置金相顯微鏡,偏光顯微鏡,熒光顯微鏡,數(shù)碼顯微鏡產(chǎn)品及各種分析處理軟件。我公司產(chǎn)品廣泛用于機(jī)械、電子、冶金、化工、航空、天文、輕工、農(nóng)業(yè)等各行業(yè)和科研、教育、國防等部門, 企業(yè)產(chǎn)品遍及國內(nèi)外,深受國內(nèi)外廠家及客商的歡迎。

 

      公司面向現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)*的應(yīng)用領(lǐng)域,秉承“以客戶需求為基本出發(fā)點(diǎn)”的宗旨,堅(jiān)持“制定科學(xué)設(shè)計(jì)方案,提供*產(chǎn)品,構(gòu)建完善售后服務(wù)”的原則,竭誠歡迎光學(xué)儀器領(lǐng)域中的有相當(dāng)專長的人士和機(jī)構(gòu)進(jìn)行各種形式的合作。

 

奧林巴斯顯微鏡、徠卡顯微鏡、

光源 GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈 照明范圍 ≤110mm
可使用的波長 g線、h線、I線的組合 成象面照明 光照度2~20毫瓦/厘米2
主機(jī)電源 220V± 重量 150Kg
高度可調(diào)范圍 0~30mm

C-25型單面光刻機(jī) 高精度

C-25型單面光刻機(jī) 高精度




主要用途


主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。


由于本機(jī)找平機(jī)構(gòu)先進(jìn),找平力小、使本機(jī)不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。


主要構(gòu)成


主要由高精度對準(zhǔn)工作臺、雙目分離視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、采用高均勻性的多點(diǎn)光源、 蠅眼、LED、曝光頭,PLC電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式無油真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。


主要性能指標(biāo)


1有三種版夾盤,能真空吸附5" ×5"或4" ×4"或3" ×3"方形掩板。對版的厚度無特殊要求(1~4mm皆可)。如果不同于上述尺寸的版,真空無法吸附,但可采用夾盤上的螺孔,和特殊的壓片固定版。


 2設(shè)有相對應(yīng)的真空吸附基片的“承片臺”三個,分別適用于φ4,φ3,φ2片。對于非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片,只要堵塞相應(yīng)的小孔,同樣能真空吸附。


 3照明


光源:采用GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈。


照明范圍:≤110mm


不均勻性:ф100mm內(nèi)±3%


可使用的波長:g線、h線、I線的組合。


成象面照明:光照度2~20毫瓦/厘米2,任意可調(diào)(出廠時,照明度調(diào)在4mw/cm2)。


4采用進(jìn)口時間繼電器(該繼電器可從0.1秒~999.9秒預(yù)設(shè))控制真空快門,動作準(zhǔn)確可靠。


5該機(jī)為接觸式光刻機(jī),但可實(shí)現(xiàn):


a. 硬接觸曝光:用管道真空來獲得高真空接觸,真空≤-0.05MPα。


b. 軟接觸曝光:接觸壓力可將真空降到-0.02MPα~-0.05MPα之間。


c. 微力接觸曝光:小于軟接觸,真空≥-0.02MPα。


6分辯率估計(jì)


如果用戶的“版”、“片”精度符合國家規(guī)定,環(huán)境、溫度、濕度、塵埃得到嚴(yán)格控制,采用正性光刻膠,且勻膠厚度得到嚴(yán)格控制。加之前后工藝先進(jìn)的話,硬接觸曝光的最小分辨度可達(dá)1μm以上。如果作為批量生產(chǎn),建議使用在1.5μm以上。


7對準(zhǔn)


對準(zhǔn)顯微鏡:


   1、由兩支變焦顯微鏡,兩支CCD攝像頭,一臺液晶顯示器和X.Z方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組成。


   2、該顯微鏡雙物鏡距離可調(diào)。


   3、該顯微鏡既可通過顯示屏同時看見兩物鏡的象,也可轉(zhuǎn)換成只看左物鏡或右物鏡的象。


   4、總放大倍數(shù):0.7×42~4.5×42=30X~189X。


C-25型單面光刻機(jī) 高精度



對準(zhǔn)臺:(采用片動,版不動方式)


X、Y調(diào)整:硅片X、Y的對準(zhǔn)采用切斯曼機(jī)構(gòu)或微分頭調(diào)節(jié)。


粗調(diào)≥±3mm


細(xì)調(diào)≤±0.3mm。


Q調(diào)整:轉(zhuǎn)角≤3°(另設(shè)粗調(diào)機(jī)構(gòu),可進(jìn)行±15°粗調(diào))


對準(zhǔn)間隙(分離間隙)0∽50μm任意可調(diào)。


整個對準(zhǔn)臺相對于顯微鏡可作±15mm掃描運(yùn)動。


“接觸、分離”20μm情況下,片相對于版的“漂移量”,可調(diào)到≤0.5μm。


8設(shè)備所需能源


主機(jī)電源: 220V±10%   50HZ


潔凈空氣≥0.4mpα


真空:-0.07~-0.08MPα。


9尺寸和重量


尺寸:機(jī)體900(長)×674(寬)×882(高)。


重量:150Kg。


機(jī)體放在專用工作臺上。


工作臺630(長)×654(寬)×645(高)。


高度可調(diào)范圍0~30mm。


重量180Kg(工作臺后側(cè)裝有電氣部分)。


總重量≤330Kg


10光刻機(jī)的組成


l 主機(jī)


主機(jī)(含機(jī)體和工作臺)


對準(zhǔn)采用CCD雙視場系統(tǒng)


蠅眼光源曝光頭


l 附件


主機(jī)附件


3"□型掩版夾盤


4"□型掩版夾盤(出廠時安裝到機(jī)器上)


5"□型掩版夾盤。


用于φ2"基片的真空夾持承片臺。


用于φ3"基片的真空夾持承片臺(出廠時安裝到機(jī)器上)。


用于φ4"基片的真空夾持承片臺。




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