參數(shù)測量系統(tǒng)主機+SMU 模塊 其它儀器

Agilent E5270B 8 槽參數(shù)測量主機玩全可由用戶配置。您最多可以安裝 8 個單插槽模塊（如 E5281B MPSMU）、最多 4 個雙插槽模塊（如 E5280B HPSMU）或它們的任何物理允許的組合。

Keysight E5270B 精密型 IV 分析儀是一款完整的解決方案，適用于各種材料和器件的電流-電壓表征。E5270B 支持多個 SMU（源/監(jiān)控單元），用于電壓/電流源和電壓/電流測量，具有同類產(chǎn)品中最佳的電流測量性能，低至 1 nA。其模塊化架構允許您為可用的 8 個插槽配置或升級 SMU 模塊?；?EasyEXPERT group+ GUI 的表征軟件可在您的 PC 上使用，以支持從測量設置到數(shù)據(jù)分析的表征所需的所有任務。E5270B 將 SMU 的多功能測量功能與基于 GUI 的表征軟件強大集成，是表征和評估器件、材料、半導體、有源/無源元器件或幾乎任何其他類型的電子設備的最佳解決方案，具有吳與倫比的測量可靠性和效率。

Keysight E5270B 參數(shù)測量系統(tǒng)的特點包括：

• 執(zhí)行高速直流參數(shù)測量

• 8 個插件模塊插槽

• 用戶界面允許從前面板進行現(xiàn)場測量

• 高分辨率模數(shù)轉(zhuǎn)換器 （ADC） 可用于所有已安裝的模塊

• 每個已安裝的 SMU 上都存在高速 ADC

• 4 安培接地單元

• BNC 觸發(fā)輸入和觸發(fā)輸出連接器

• 16 個通用數(shù)字 I/O

• 程序內(nèi)存

• 用于儀器控制的 GPIB 端口

• 自檢、自校準、診斷

電流-電壓測量功能

• 0.1 fA – 1A 和 0.5 μV – 200 V 的準確和精密測量范圍

• 點和掃描測量功能

• 脈沖點和掃描測量，最小脈沖寬度為 500 μs

• ASU（atto-sense and switch unit）可與 HRSMU 配合使用，以提供 0.1 fA 測量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換

支持的測量模式包括：

• 點

• 脈沖光斑

• 準脈沖點

• 樓梯掃地

• 多通道掃描

• 脈沖掃描

• 帶脈沖偏置的階梯掃描

• 線性搜索

• 二分搜索

Agilent E5270B 的規(guī)格包括：

• 測量范圍：

• 使用 E5280B：-200 V 至 200 V，-1 A 至 1 A，分辨率為：2 μV，10 fA

• 使用 E5281A：-100 V 至 100 V，-100 mA 至 100 mA，分辨率為：0.5 μV，10 fA

• 最大輸出功率：80W

• 最大公共對地電壓必須為 ≤42 V

• 脈沖測量

• 脈沖寬度：500 μs 至 2 s

• 脈沖周期：5 ms 至 5 s

• 周期 ≥寬度 + 2 ms（寬度 ≤100 ms 時）

• 周期 ≥寬度 + 10 ms（寬度 >100 ms 時）脈沖分辨率：100 μs

• GNDU：配備 E5270B 主機的地面單元

• 輸出電壓：0 V ±100 mV

• 最大灌電流：4 A

• 輸出端子/連接：三軸連接器，開爾文（遙感）

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