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Circular Magnetron 美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極
- 公司名稱 皕赫科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Circular Magnetron
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/12/12 21:30:31
- 訪問次數(shù) 462
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極
只要在結(jié)構(gòu)中納入特定的設(shè)計標準，Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管就可以在研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用中成功實施。
Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管可直接冷卻，外徑為2英寸-8英寸。
因為射頻功率在高頻下工作，所以磁控濺射陰極的設(shè)計必須能夠控制這種功率。Angstrom Sciences的高功率射頻磁控管設(shè)計用于在目標表面均勻地傳遞射頻能量，同時提供低反射功率和射頻限制。
高功率射頻磁控管有圓形和線性兩種配置。
美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極
間接冷卻磁控管
間接冷卻磁控管在圓陰極的冷卻水和濺射靶材之間包含一個中間壁。該壁形成水真空密封，防止目標被“濺射”時可能發(fā)生的泄漏。
Angstrom Sciences 的 1“- 4” （25mm-100mm） 間接冷卻圓形磁控管包含一個螺紋靶夾和陽極屏蔽罩，可根據(jù)不同厚度的濺射靶材進行調(diào)整。螺紋設(shè)計上的目標更改既快速又簡單，不需要輔助工具或設(shè)備。
描述
此外，螺紋靶夾和陽極屏蔽層可形成一個緊湊的圓形磁控管頭。這使得 Angstrom Sciences 的圓形磁控管能夠安裝在狹窄的真空室中，并且與傳統(tǒng)磁控管的表面積相比，可以濺射更大的襯底。
間接冷卻磁控管推薦用于低功率應(yīng)用，是研究和開發(fā)應(yīng)用的理想工具。
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